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| 尾气处理装置 | 1.0/套 | / | 1. 处理能力(Capacity):≥ 800 slm2. 进气口数量:6个或以上3. 设备宽度:< 850 mm | 参数 1. (Capacity):≥ 800 slm 2. 进气口数:6个或以上 3. 设备宽度:< 850 mm 二、气体破坏去除率(DRE均≥99% 4. 氟碳类气体(含 CF、CF、CHF、CHF、CHF 等5. 含硫/氮氟化物(NF、SF) 6. 酸性气体(HF、HBr、Cl)7. 含硅/硼卤化物(SiCl、BCl) 8. 含氧化合物/羰基/硫化物(NO、CO、COS) 9. 含氢/碳/氮类气体(H、NH、CH) 三、保障配置 10. 机台须标配烟感探测器; 11. 机台内部须设置漏液带,侦测漏液;且机台底部配置承漏盘,承漏盘内部配置漏液侦测装置; 12. 所有水路必须配置双阀控制; 13. 机台水箱材质须为 CPVC 材质,满足耐腐蚀要求; 14. 机台循环水路必须配置过滤器,预防喷头堵塞影**洗效果; 15. 配置新风除湿功能;16. 机台宕机后,具备 by-pass 旁通管路氮气吹扫功能;17. 机台三通阀自动控制复位 漏电保护 | 按行业标准提供服务 |