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深圳大学三维光学轮廓仪意向公开
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****三维光学轮廓仪意向公开
| 采购单位: | **** |
| 项目名称: | 三维光学轮廓仪 |
| 预算金额（元）: | 1,950,000.000 |
| 采购品目: | 光学计量仪器 |
| 采购需求概况: | ****光电中心定位于微纳加工，器件工艺等方面的应用研究，具备光刻-刻蚀-镀膜-表面形貌检测的完整工艺链条，样品涵盖微纳尺度下的光子集成器件、超构表面及功能性光学薄膜等多种样品。 功能要求：1、可实现包括半导体材料、芯片、封装等大面积样品表面形貌的无接触快速精准拼接检测。2、z轴方向实现纳米级别高度测量，具备翘曲度、平面度、共面度分析等功能。3、具备共面度，平整度，台阶高度和粗糙度的自动分析工功能，共面度标准分析模块。4、****中心双光子加工等光刻备实现各种光刻样品的检测。5、要求设备稳定，工艺重复度高且易于后期维护。 主要技术参数： 1.机型为大型干涉仪**支架，可拆卸，采用非接触式光学测量技术的测头系统：同时具备共聚焦、白光干涉（CSI）、相位差干涉（PSI）、增强型相位差（EPSI）多焦面叠加测量技术，且光路设计不含转盘等振动或运动部件，保证设备运行和测量的稳定性。 2.光源类型：LED红光 (630 nm); 绿光 (530 nm); 蓝光 (460 nm)和白光 (575 nm) 3.具备升级五轴测量系统接口 4.具备锆钛酸铅（PZT）压电陶瓷 5.RMS重复精度≤0.007nm 6.电动载物台自动倾斜调平功能 7.最大拼接张数175张*175张，大幅拼接图片像素值5亿 8.提供主动式电磁阀防震系统 |
| 预计采购时间: | 2026-6 |
| 联系人: | 林老师 |
| 联系电话: | 0755-****6823 |
| 备注: | 无 |
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2026-05-07
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