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| 探针台 | 不限 | 29500.00 | 质保期至少三年,按行业标准提供服务 | 二.工作条件 工作在手套箱内,220 VAC, 50Hz 三. 主要技术规格与指标 1.整机外形尺寸:≤500mm 宽*320mm 长*620mm 高(带显微镜); 2.整机重量:≤20Kg(带显微镜); 3.样品台(独立开关控制) (1)尺寸:4英寸黄铜镀金,真空吸附,平整度5um; (2)X-Y 轴行程,精度:50mm x50mm,10um; (3)Z轴升降及精度:10mm ,10um精度; (4)旋转及精度:0~360 度,0.1°精度; 4.显微镜:同轴显微镜,0.7X-4.5X; (1)相机:4K CCD; (2)照**源:同轴黄光光源; (3)调焦行程:Z轴50mm;X-Y 轴12.7mm,精度为10um; 5.针座平台:在标准品基础上加宽,尺寸500mm *320mm,可放置8个探针座;平整度≤20um; 四. 配置要求 1、探针台主机(含4英寸样品台) 1台; 2、射频测试探头和线缆 3套; 3、磁性探针座:3个; 4、同轴显微镜(含同轴黄光光源)1套; 5、4K CCD相机 1套; 6、真空模块(含连接管路) 1台; 7、探针 10根; | 1.0台 | 不限 | 29500.00 | **** |