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| 小型气相沉积系统 | 1.0/台 | **中环 | CVD-12-02-ZF | 1.额定功率:1.2Kw; 2.额定电压:220V; 3.加热区/恒温区长度:200mm/100mm; 4.密封法兰:采用双环密封,卡箍快速连接; 5.炉膛材质:多晶莫来纤维; 6.排风冷却装置:结合热感应技术,炉体表面50度时,排温风扇自动开启; 7.最高温度:1200℃; 8.程序控制:国产智能仪表,PID调节、自整定功能,并可编制50段升降温程序; 9.控温精度:±1℃; 10.石英管尺寸:φ25x1000mm; 11.加热元件:高电阻电热合金丝OCr27A17Mo2; 12.升温速度:0-1000℃≤10℃/min,1000-1200℃≤5℃/min; 13炉壳材质:304不锈钢压花; 14.控制面板:配有电流指针表,方便后期故障排查; 15.气控系统:配质量一路质量流量计和一路浮子流量计。 | 产品质保期为壹年(损耗件除外),保质期内,免费维护。 |