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多介质工艺气体气源组件询价采购信息公开
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多介质工艺气体气源组件询价采购信息公开
1. 项目名称/货物名称：多介质工艺气体气源组件
2. 预算金额：95200元
3. 主要技术指标/性能要求：
多介质工艺气体气源组件，包含正压气源和负压真空泵：
（1）正压气源：包含He、Ar、N2、CO2四种半导体工艺气体，采用8L/40L标准气瓶；
（2）真空负压：采用静音真空泵，极限负压≤10Pa，流量≥2m3/h。
（3）供货周期：签订合同后60天。
4. 供应商应具备的资格要求：具备提供相应产品或服务的合法资格（不限营业执照、生产类似产品相关业绩的资料）。
5. 询价原则：询价小组根据符合采购需求、质量和服务相等的前提下，以报价最低的供应商作为成交供应商。
6. 询价时间：2026年5月8日—2026年5月13日（自询价之日起不少于5个工作日）；2026年5月13日17点前，供应商须将报价单（详见附件1）加盖公章后送达或寄达至**市钱塘区海通街580号9号楼，逾期不予接收。（提供报价单时需提供营业执照、组织机构代码证等）。
7. 联系方式：**市钱塘区海通街580号9号楼1007室能源环****研究中心综合科
联系人：罗工
联系电话：0571-****1780
附件：采购报价单
附件（1）
采购报价单（新）.docx下载预览
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2026-05-08
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