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| 预加热双温区离子加强沉积集成系统 | 1.0/台 | 195000.0 | 中环电炉 | Y12HII-4Z/G-F | 该设备可对材料表面进行氮化处理,提升其表面性能,具体参数如下:(1)射频控制:功率输出范围 500W,最大反射功率≤1%,工作功率≤70W;(2)5.真空控制:高真空分子泵控制,真空范围10-1*10-3Pa,真空分子泵理论极限真空度 6*10-6Pa,抽气速率110L/S,出气口配有油雾过滤器,额定电压220V,功率2KW;(3)4.气体控制:四路气路,质量流量计(按键式)控制,流量范围0-500sccm(标准毫升/分)氮气标定,精度±1%F.S,响应时间1sec,工作温度(流量计)5-45℃,进气压力0.05-0.3Mpa (表压力),进气方式采用防倒流设计。(4)控制方式:液晶触摸显示屏,预加热炉及双温区电炉程序控温(可预设配方)(5)设备尺寸及重量:外形尺寸530*1740*750mm,总重量330Kg | 1、按行业标准提供产品和服务; 2、是否要求本地有售后服务网点:(B) A.是 B.否 “本地”指采购单位所在省级行政区域;有售后服务网点的证明材料包括:****公司营业执照,****公司营****公司****公司之间签订的有效**协议。本地供应商无需上传证明文件;外地供应商需上传当地服务网点证明文件压缩包。 |