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燕东股份高压大功率芯片生产能力提升项目栅氧化炉设备采购评标结果公示公告(1)
招标详情
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项目编号： ****
公告类型： 评标公示
截止时间： 2026-05-12 23:59:00
招标机构： ****公司
招标地区： **市
项目名称：燕东股份高压大功率芯片生产能力提升项目栅氧化炉设备采购
招标项目编号：****
招标范围：编号 设备名称 数量 简要技术说明 1 栅氧化炉设备 1台 用于第三代半导体 SiC 晶圆的干氧、湿氧、一氧化氮退火等高温热处理工艺使用，适用于 4、6 吋碳化硅片，最高工艺温度 1350℃，配有自动装片装置，具有 Cassette to Cassette 装片功能。
招标机构：****公司
招标人：****
开标时间：2026-05-07 10:00
公示开始时间：2026-05-08 13:03
评标公示截止时间：2026-05-12 23:59
中标候选人名单：
招标项目编号：****
招标范围：编号 设备名称 数量 简要技术说明 1 栅氧化炉设备 1台 用于第三代半导体 SiC 晶圆的干氧、湿氧、一氧化氮退火等高温热处理工艺使用，适用于 4、6 吋碳化硅片，最高工艺温度 1350℃，配有自动装片装置，具有 Cassette to Cassette 装片功能。
招标机构：****公司
招标人：****
开标时间：2026-05-07 10:00
公示开始时间：2026-05-08 13:03
评标公示截止时间：2026-05-12 23:59
中标候选人名单：
| 1 | **** | **** | 中国 |
招标进度跟踪
2026-05-08
候选人公示
燕东股份高压大功率芯片生产能力提升项目栅氧化炉设备采购评标结果公示公告(1)
当前信息
2026-04-13
2026-04-13
2026-04-02
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