球差电镜样品杆等离子清洗及真空存储系统(JLU-KC26016)采购公告

发布时间: 2026年05月08日
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项目名称 项目编号 公告开始日期 公告截止日期 采购单位 付款方式 联系人 联系电话 签约时间要求 到货时间要求 预算总价 发票要求 含税要求 送货要求 安装要求 收货地址 供应商资质要求 公告说明
球差电镜样品杆等离子清洗及真空存储系统****
2026-05-08 15:11:132026-05-13 16:00:00
****货到验收合格办理相关手续后100%付款。
国内合同签订后30个日历日内
¥480000.00
****

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件


采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
球差电镜样品杆等离子清洗及真空存储系统 1 显微镜
品牌 型号 预算单价 技术参数及配置要求 参考链接 售后服务
速普仪器
SPC150
¥ 480000.00
1. 泵组:进口品牌涡轮分子泵+无油隔膜泵 2. 分子泵入口法兰:DN 63 ISO -K (标准) 3. 分子泵抽速:≥84 L/s (N2) 4. 前级泵抽速:≥0.7m3/h 5. 极限真空:≤5*10-4 Pa 6. 清洗启停周期:≤300 s 7. TEM样品杆配件:适用于Thermo Fisher品牌样品杆 8. 样品腔室尺寸:不小于100*100*80 mm,等离子清洗强弱分区设置;可以放置不少于2路TEM样品杆 9. 等离子体清洗源:远程RF射频源原理 10.清洗电源功率:13.56 MHz RF电源,5-50W可调 11.清洗气体控制:不少于3路MFC流量计控制,可以外接如Ar或O2或H2等清洗气体 12.真空规:进口品牌全量程复合规 13.操作方式:触摸屏控制,工艺菜单,控制系统提供互锁保护功能 14.真空存储模块:不少于5支Thermo Fisher TEM样品杆真空存储;存储气压400-1000 Pa,抽真空时间≤1min,自动保压;触摸屏独立控制各存储工位抽/放真空操作,各存储工位真空独立互锁; 15.尺寸:不大于600mm宽*500mm深*450mm高 16.电源:220V AC,50/60Hz 接地三脚插头 17.功耗:≤500W 18.冷却方式:风冷 19.质量保证:一年免费/终身维护
服务网点:外地;电话支持:7x24小时;服务年限:一年;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;提供技术培训及终身维护技术支持。;

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2026-05-08
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球差电镜样品杆等离子清洗及真空存储系统(JLU-KC26016)采购公告
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