开启全网商机
登录/注册
宁波东方理工大学及宁波市东方理工高等研究院 - 竞价公告（CMEIAS2026000065）
招标详情
下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请
「注册/登录」或 拨打咨询热线：
400-688-2000
宁****及宁****研究院 - 竞价公告（****）
发布时间：2026-05-09 10:01:46 截止时间：2026-05-13 11:11:30加急标书代写
申购主题： 等离子体加强化学气相沉积系统
报价要求： 国产含税
发票类型： 增值税专用发票
付款方式： 货到验收合格后付款,如有其他付款要求，请在竞价时注明
收货地址： **省/**市/**区/****
供应商资质： 未纳入宁****/宁****研究院不诚信行为供应商的
备注说明： 1.需要送货上门，安装调试，不接受快递物流 2.需要全新正品
送货时间： 合同签订后10天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
预算： 499800.0人民币
| 等离子体加强化学气相沉积系统 | 1.0/ | 499800.0 | **工盛 | PECVD-Plus | [{"key":"1","value":"1;电源: 射频：220V AC，50Hz，单相，功率500W 直流：500W\n2:样品台温度：室温至 300℃\n3:样品台尺寸: 标配 2″\n4:腔室外壁加热温度: 室温至 80℃\n5:本底真空: 5×10-3 Pa\n6:沉积腔：圆形直径400高300双层结构，中间水冷，降低腔体外部温度。腔体前开门，门密封方式，胶圈密封，操作简单。底部安装真空接口与衬底台。腔体内部周围安装加热装置。源与工艺气体安装于腔体上盖\n7:腔体周围安装有预抽真空接口及真空计接口\n8:左右安装有两个CF35观察窗\n9:腔体底部真空接口CF100安装气动插板阀\n10:衬底加热盘内置在腔室内，样品将放置在加热盘（样品台）上，工艺运行过程中，腔室将通过真空泵抽为真空腔室\n11:分子泵：1套；极限真空10-8Pa；抽速600 L/s (接口NW150CF, 抽速600 L/s(分子流), 压缩比>109(N2))；水冷，冷却水采用保护控制方法，即无冷却水时无法开启分子泵电源\n12:机械泵：2套；极限真空6.710-2Pa；抽速6L/s；\n13:超高真空闸板阀：1套，极限真空10-7Pa (CF100型)\n14：直流电源：1套500W\n15：射频电源：频率13.56MHz，驻波比1%，1套500W 。射频部分由射频电源、匹配器、射频屏蔽罩和射频专用屏蔽线缆组成\n16：控制部分：采用PLC控制，抽真空自动控制，真空阀门采用气动控制加信号反馈\n17：质量流量计（MFC）及控制系统：20sccm/4套，50sccm/4套\n18：气体管路部分：气体管路为气体提供了气流通路。气体管路采用不锈钢制作而成，管路上装配有 、手动阀、MFC（质量流量计）\n19：复合真空仪：控制测量仪 1套，单片微机控制；数字显示；RS232接口；热偶规管；超高真空电离规管；测量范围为大气压－10-7Pa。 20：1)\t安全锁定系统：电源、水压、失真空等的自动控制报警系统；\n2)机架：乳白、银灰色；\n3)控制柜：19英寸国际标准；\n4)其它连接管道：连接波纹管；\n5)其它阀门：气动阀、电磁阀、放气阀；\n6)其它接头：水、气接口。\n5.所有控制系统都集中于控制柜中。 1)完整的操作说明书；\n2)设备的基本电路说明书（供维护保养用）。\n3)配件：沉积腔,样品台，分子泵，机械泵，质量流量计，复合真空仪，机架，控制柜，气管、水管接口、螺丝螺母、真空法兰接口、垫圈、卡箍、真空密封氟胶圈、保险丝、仪器运****测试所需反应源瓶。 21：售后服务部分： ①产品质保期为1年； \n②质保期内设备的维修免费（人为损坏因素除外）； \n③质保期内由于设备本身原因而引起的零配件（易损件除外）的更换，****公司承担； \n④建立客户设备信息档案，随时跟踪设备运行及维护，保证设备正常运行； \n⑤****公司进行技术支持的正式通知（含电话或邮件通知）后，我公司技术人员于48小时内，赶到技术服务现场； \n⑥对于质保期以外设备的维护，我公司只收取成本费； \n⑦所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。","important":true}] | 1.质保期1年 2.中标人需要提供培训 | |
| 等离子体加强化学气相沉积系统 | 1.0/ | 499800.0 | **纳瑞纳米 | PFX-CVD-DZ001 | [{"key":"1","value":"1;电源: 射频：220V AC，50Hz，单相，功率500W 直流：500W\n2:样品台温度：室温至 300℃\n3:样品台尺寸: 标配 2″\n4:腔室外壁加热温度: 室温至 80℃\n5:本底真空: 5×10-3 Pa\n6:沉积腔：圆形直径400高300双层结构，中间水冷，降低腔体外部温度。腔体前开门，门密封方式，胶圈密封，操作简单。底部安装真空接口与衬底台。腔体内部周围安装加热装置。源与工艺气体安装于腔体上盖\n7:腔体周围安装有预抽真空接口及真空计接口\n8:左右安装有两个CF35观察窗\n9:腔体底部真空接口CF100安装气动插板阀\n10:衬底加热盘内置在腔室内，样品将放置在加热盘（样品台）上，工艺运行过程中，腔室将通过真空泵抽为真空腔室\n11:分子泵：1套；极限真空10-8Pa；抽速600 L/s (接口NW150CF, 抽速600 L/s(分子流), 压缩比>109(N2))；水冷，冷却水采用保护控制方法，即无冷却水时无法开启分子泵电源\n12:机械泵：2套；极限真空6.710-2Pa；抽速6L/s；\n13:超高真空闸板阀：1套，极限真空10-7Pa (CF100型)\n14：直流电源：1套500W\n15：射频电源：频率13.56MHz，驻波比1%，1套500W 。射频部分由射频电源、匹配器、射频屏蔽罩和射频专用屏蔽线缆组成\n16：控制部分：采用PLC控制，抽真空自动控制，真空阀门采用气动控制加信号反馈\n17：质量流量计（MFC）及控制系统：20sccm/4套，50sccm/4套\n18：气体管路部分：气体管路为气体提供了气流通路。气体管路采用不锈钢制作而成，管路上装配有 、手动阀、MFC（质量流量计）\n19：复合真空仪：控制测量仪 1套，单片微机控制；数字显示；RS232接口；热偶规管；超高真空电离规管；测量范围为大气压－10-7Pa。 20：1)\t安全锁定系统：电源、水压、失真空等的自动控制报警系统；\n2)机架：乳白、银灰色；\n3)控制柜：19英寸国际标准；\n4)其它连接管道：连接波纹管；\n5)其它阀门：气动阀、电磁阀、放气阀；\n6)其它接头：水、气接口。\n5.所有控制系统都集中于控制柜中。 1)完整的操作说明书；\n2)设备的基本电路说明书（供维护保养用）。\n3)配件：沉积腔,样品台，分子泵，机械泵，质量流量计，复合真空仪，机架，控制柜，气管、水管接口、螺丝螺母、真空法兰接口、垫圈、卡箍、真空密封氟胶圈、保险丝、仪器运****测试所需反应源瓶。 21：售后服务部分： ①产品质保期为1年； \n②质保期内设备的维修免费（人为损坏因素除外）； \n③质保期内由于设备本身原因而引起的零配件（易损件除外）的更换，****公司承担； \n④建立客户设备信息档案，随时跟踪设备运行及维护，保证设备正常运行； \n⑤****公司进行技术支持的正式通知（含电话或邮件通知）后，我公司技术人员于48小时内，赶到技术服务现场； \n⑥对于质保期以外设备的维护，我公司只收取成本费； \n⑦所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。","important":true}] | 1.质保期1年 2.中标人需要提供培训 | |
| 等离子体加强化学气相沉积系统 | 1.0/ | 499800.0 | **联沃智造 | LW-PECVD-1200 | [{"key":"1","value":"1;电源: 射频：220V AC，50Hz，单相，功率500W 直流：500W\n2:样品台温度：室温至 300℃\n3:样品台尺寸: 标配 2″\n4:腔室外壁加热温度: 室温至 80℃\n5:本底真空: 5×10-3 Pa\n6:沉积腔：圆形直径400高300双层结构，中间水冷，降低腔体外部温度。腔体前开门，门密封方式，胶圈密封，操作简单。底部安装真空接口与衬底台。腔体内部周围安装加热装置。源与工艺气体安装于腔体上盖\n7:腔体周围安装有预抽真空接口及真空计接口\n8:左右安装有两个CF35观察窗\n9:腔体底部真空接口CF100安装气动插板阀\n10:衬底加热盘内置在腔室内，样品将放置在加热盘（样品台）上，工艺运行过程中，腔室将通过真空泵抽为真空腔室\n11:分子泵：1套；极限真空10-8Pa；抽速600 L/s (接口NW150CF, 抽速600 L/s(分子流), 压缩比>109(N2))；水冷，冷却水采用保护控制方法，即无冷却水时无法开启分子泵电源\n12:机械泵：2套；极限真空6.710-2Pa；抽速6L/s；\n13:超高真空闸板阀：1套，极限真空10-7Pa (CF100型)\n14：直流电源：1套500W\n15：射频电源：频率13.56MHz，驻波比1%，1套500W 。射频部分由射频电源、匹配器、射频屏蔽罩和射频专用屏蔽线缆组成\n16：控制部分：采用PLC控制，抽真空自动控制，真空阀门采用气动控制加信号反馈\n17：质量流量计（MFC）及控制系统：20sccm/4套，50sccm/4套\n18：气体管路部分：气体管路为气体提供了气流通路。气体管路采用不锈钢制作而成，管路上装配有 、手动阀、MFC（质量流量计）\n19：复合真空仪：控制测量仪 1套，单片微机控制；数字显示；RS232接口；热偶规管；超高真空电离规管；测量范围为大气压－10-7Pa。 20：1)\t安全锁定系统：电源、水压、失真空等的自动控制报警系统；\n2)机架：乳白、银灰色；\n3)控制柜：19英寸国际标准；\n4)其它连接管道：连接波纹管；\n5)其它阀门：气动阀、电磁阀、放气阀；\n6)其它接头：水、气接口。\n5.所有控制系统都集中于控制柜中。 1)完整的操作说明书；\n2)设备的基本电路说明书（供维护保养用）。\n3)配件：沉积腔,样品台，分子泵，机械泵，质量流量计，复合真空仪，机架，控制柜，气管、水管接口、螺丝螺母、真空法兰接口、垫圈、卡箍、真空密封氟胶圈、保险丝、仪器运****测试所需反应源瓶。 21：售后服务部分： ①产品质保期为1年； \n②质保期内设备的维修免费（人为损坏因素除外）； \n③质保期内由于设备本身原因而引起的零配件（易损件除外）的更换，****公司承担； \n④建立客户设备信息档案，随时跟踪设备运行及维护，保证设备正常运行； \n⑤****公司进行技术支持的正式通知（含电话或邮件通知）后，我公司技术人员于48小时内，赶到技术服务现场； \n⑥对于质保期以外设备的维护，我公司只收取成本费； \n⑦所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。","important":true}] | 1.质保期1年 2.中标人需要提供培训 |
招标进度跟踪
2026-05-09
招标公告
宁波东方理工大学及宁波市东方理工高等研究院 - 竞价公告（CMEIAS2026000065）
当前信息
招标项目商机
暂无推荐数据
400-688-2000
欢迎来电咨询～
