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| 1 | 原位冷冻聚焦离子束微纳加工系统 | 用于微纳样品和电镜样品加工与观察,主要技术指标:Ga离子束分辨率:2.5 nm @ 30 kV。电子枪:肖特基场发射电子枪;分辨率: 0.6 nm @ 15 kV; 1.0 nm @ 1kV |
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