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紫金山实验室 - 竞价结果公告（NCRPMLABS2026000117）
招标详情
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**** - 竞价结果公告（****）
发布时间：2026-05-09 14:17:06
申购单号： ****
申购主题： SGKY202****0088-载物台控制模块
采购单位： ****
竞价开始时间： 2026-04-17 17:05:33
竞价截至时间： 2026-04-27 09:50:35
币种： 人民币
付款方式： 货到验收合格后付全款，如有异议请备注。
备注说明： 货期、质保等必要信息请备注。
质疑说明： 如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
成交总额： 194950.00
送货时间： 发布竞价结果后3天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
收货地址：
| 载物台控制模块 | 不限 | 194950.00 | 1. 按行业标准提供服务； 2. 严格参数要求不得更改技术参数指标； 3. 需要现货中标,中标后3天能提供； 4. 提供货品时，需同步搭建显微观测环境，实时演示芯片显微成像。 | 1、XY轴移动平台指标 - 移动范围：203mm×203mm - 移动分辨率：1μm（0.04mils） - 定位重复性：≤2μm（0.08mils） - 移动速度：＞50mm/sec（2in./sec） - 马达驱动系统：配备交叉滚子五相步进电机 - 反馈系统：配置分辨率1μm的闭环光学线性编码器 - 标准动作移动时间：≤750ms（标准流程：200μm Z轴下移 - 1000μm XY轴移动 - 200μm Z轴上移） 2、Z轴移动平台指标 - 移动范围：5mm - 移动分辨率：1μm - 定位重复性：2μm 3、 Theta旋转平台指标 - 转动范围：±5.5° - 定位重复性：2μm 4 、软件控制功能指标 - 移动模式：兼容步进移动、快速移动两种工作模式，满足不同场景使用需求 - 位置显示：实时显示XYZT四轴当前坐标数值，支持自定义点位归零操作 - 模式切换：支持软件一键快捷切换自动与手动移动模式，操作简便高效 5、搭载 8 寸圆形镀镍多孔载物台，台面平整度≤10μm；样品台手动移动行程为 200mm×200mm。 6、采用增大型载物平台面，可同时容纳 4 个射频针座；配备多探针快速定位结构及探针射频测试装置，实现信号快速接入待测器件。 7、设备配备 EMO 紧急停止装置，可实现紧急安全停机，保障操作人员人身安全。 8、采用抽拉式可外移载物台结构，载物台可完全抽出至腔体外部，便于晶圆取放操作。 | 1.0个 | / | 194950.00 | **** |
招标进度跟踪
2026-05-09
中标通知
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当前信息
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