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| 1 | 组合式六维姿态调整机构 | 设备及软件/机械设备 | 型号/件号:型号:WPYR6;附加技术条件:a) 水平移动范围:Y方向移动行程≥1000mm(直线度≤40um,100mm范围内直线度≤10um),X方向移动行程≥200mm(直线度≤10um); b) 横标尺精度:0.01mm; c) 升降高 | 1.0 | 台 | 一次性交货 | 2026/05/20 |