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之江实验室微纳加工平台工艺研发运维服务采购意向公开

浙江 -杭州

发布时间： 2026年05月09日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

实验室平台工艺研发运维服务

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

****微纳加工平台工艺研发运维服务采购意向公开

发布时间：2026-05-07

为便于供应商及时了解采购信息，现将****微纳加工平台工艺研发运维服务服务项目意向公开如下：

采购单位	****
采购项目名称	****微纳加工平台工艺研发运维服务
采购品目	服务
采购需求概况	主要包含以下几类服务，具体详情请关注近期招标公告：（1）工艺研发服务（负责步进式光刻机 / 接近接触式光刻机 / 激光直写光刻机 / 电子束光刻机 / 全自动涂胶显影机等光刻类设备）（2）工艺研发服务（负责PECVD / LPCVD / ICPCVD / ALD / PEALD等薄膜设备）（3）工艺研发服务（负责ICP / RIE / IBE / VHF XeF2干法释放/干法去胶机等刻蚀设备）（4）设备运维服务（负责全自动去胶剥离机 / 槽式清洗机 / RCA清洗机 / 酸碱有机通风橱 / 自动单片清洗机等湿法类设备）（5）设备运维服务（负责激光植球机 / 引线键合机 / 激光砂轮划片机 / 推拉力测试仪 / SEM / FIB / AFM等封装测试类设备）（6）设备运维服务（负责平台所有微纳加工设备）（7）工艺辅助服务
预算金额（万元）	260万元
预计采购时间	2026年5月
中小企业预留情况	/
落实政府采购政策功能情况	/
联系人	/
联系电话	/
备注	/