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| 1 | 真空氦压密封件 | ARS-4HW、适配 ARS 闭循环真空要求、99.999% 高纯氦气 | 台 | 1 | 4个月 | ********园区 | ”真空元器件“采购,用以高真空环境的维持及真空氦压的维持。 | |
| 2 | 氦气管线 | HH-STD-5-10、适配 ARS-4HW 压缩机及相应 ARS 冷头。 | 套 | 1 | 4个月 | ********园区 | ”线缆“采购,用以氦气闭循环流动。 | |
| 3 | 温度控制器 | LS-335、2 路温度传感器输入、2 路可配置 PID 控制回路、具备自动 PID 整定、分区控温、传感器自动切换功能。 | 套 | 1 | 4个月 | ********园区 | ”控制系统元器件“采购,用以控制固态氖气的温度环境。 | |
| 4 | 样品温度控制模块 | CI-UHV-2-50、适配 ARS UHV 低温冷头、LS-335 温控器。 | 套 | 1 | 4个月 | ********园区 | “控制系统元器件”采购,用以控制样品处温度环境并实现监控。 |