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紫外光刻机 (XJD2026051100010) 采购公告
招标详情
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***********公司企业信息
紫外光刻机 (****) 采购公告
发布时间：2026-05-12 09:31:30
| 紫外光刻机 | 项目编号**** | |
| 2026-05-12 09:31:30 | 公告截止日期2026-05-15 12:00:00 | |
| **** | 付款方式货到安装、调试、验收合格后，付全款。 | |
| 发布竞价结果后7天内签订合同 | 到货时间要求发布竞价结果后7天内送达 | |
| 币种 | 人民币 | |
| **省**市**区**** | ||
| 无 | ||
采购清单 1
| 紫外光刻机 | 1.00 | 台 | 无 |
| 不限 |
| 不限 |
| 采购的紫外光刻机应该能够实现对4、5、6寸二氧化硅片进行精度约1微米的光刻。其参数应该符合如下要求： 1、曝光波长：365纳米； 2、*分辨率：1.5微米；、 3、*对准精度：±1.2微米； 4、*掩模样片整体运动范围：X：优于 15毫米;Y:优于 15毫米； 5、掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、6英寸； 6、样片尺寸：直径10毫米到100毫米；可适应厚度为 0.1毫米--5毫米； 7、照明不均匀性：3%（100毫米范围）； 8、*具备双目双视场对准显微镜或者光管物镜+CCD+显示器：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数 400 倍及以上，光学+电子放大 800 倍及以上； 9、最大胶厚：400微米（SU8 胶，用户提供检测条件）；光源平行性：3°； 其中*项为必须满足项，不满足无法参与招标。 |
| 按行业标准提供服务，质保期36个月。 |
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