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为便****政府采购信息,根据《****政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将****2026年5月采购意向公开如下:
| 采购单位 | **** |
| 采购项目名称 | ****刻蚀机及仿真设备采购项目 |
| 预算金额(元) | ****000.00 |
| 预留中小企业采购份额 | 否 |
| 落实政府采购政策功能情况 | 落实政府采购相关政策 |
| 预计采购时间 | 2026年07月 |
| 采购需求概况 | 标的名称:刻蚀机及仿真设备 采购目录:A****0204半导体器件参数测量仪 需实现的主要功能或者目标:拟采购半导****应用中心刻蚀机及仿真等相关设备。其中:刻蚀机装配及应用实训平台包含晶圆传输模块、进样室、传输室及工艺腔体等核心单元,通过阀门实现各腔体间隔离;设备支持装载与传输,配备机械臂实现样品自动传送功能;系统支持通过编程实现晶圆自动传输及工艺流程控制。刻蚀机组装虚拟仿真实训平台包含DUV光刻相关模型联动的刻蚀设备仿真模块,支持晶圆工艺模拟,具备整机一键拆解、零部件拆解及组装功能,实现设备结构认知与装配工艺训练 需满足的质量、服务、安全、时限等要求: 国家标准;按需求完成; 环保安全; 按招标文件约定完成。 |
| 联系人 | ** |
| 联系电话 | 0578-****463 |
| 备注 | / |
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2026年05月12日