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| 1 | 移动分子泵机组 | 型号:Hipace80Neo;对氮气的峰值抽速≥60L/s;CF63接口,可方便移动 | 套 | 1 | 14周 | **市**区**路19号乙 | ||
| 2 | 固定分子泵机组 | 型号:HiCube80Neo;对氮气的峰值抽速≥68L/s;CF63接口 | 套 | 1 | 14周 | **市**区**路19号乙 | ||
| 3 | 离子泵 | 型号:SIP100X;抽速≥100L/s;CF150接口,配有控制器和专用线缆 | 套 | 1 | 14周 | **市**区**路19号乙 |