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磁控溅射镀膜机（A-WZBX1301）采购公告

公告-招标公告

福建 -厦门

发布时间： 2026年05月12日

摘要信息

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磁控溅射镀膜机采购公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

磁控溅射镀膜机	****
2026-05-12 15:59:47	2026-05-15 17:00:00
****

	签约后30个工作日内
￥370000.00




海韵园科研一507
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

磁控溅射镀膜机

台

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 370000.00

该仪器主要指标： 1 设备通用指标真空室尺寸： Φ500mm×H420mm 整机尺寸：L1900mm×W1100mm×H1900mm 整机重量：750Kg 溅射方向：靶在上，样品在下磁控靶大小及数量：φ3 英寸磁控靶 3 只样片大小及数量：φ6 英寸 1 片电源配置：1000W 直流电源 2 台，600W 射频电源 1 台，- 300V 偏压电源 1 台抽口大小：φ200mm 工艺气体： Ar、O2、N2 三路 2 真空度指标极限真空度：≤6.7×10-5Pa 系统漏率：≤5×10-7Pa﹒L/s 静态升压：系统停泵关机 12 小时后，真空度≤5Pa 抽气速率：系统充干燥 N2 解除真空，短时暴露大气后抽气至 9×10-4Pa≤25min 系统充干燥 N2 解除真空，短时暴露大气后抽气至 6.7×10- 4Pa≤35min 3 工艺指标溅射不均匀性≤±5％的均匀区： Φ6 英寸溅射距离调节范围：8-12cm 靶角度调节精度：1° 4 温度指标样片表面最高温度：600℃ 控温精度：1℃ 温度不均匀性：≤±1%

商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;

附件下载:标书代写厦大（家具外通用、科研）合同.doc

附件（1）