招标详情
下文中****为隐藏内容,仅对千里马会员开放,如需查看完整内容请
「注册/登录」或 拨打咨询热线:
400-688-2000
项目名称
| 感应耦合等离子体刻蚀机 | 项目编号
**** |
公告开始日期
| 2026-05-12 16:00:42 | 公告截止日期
2026-05-15 18:00:00 |
采购单位
| **** | 付款方式
|
联系人
| 联系电话
|
签约时间要求
| 到货时间要求
签约后30个工作日内 |
预算总价
| ¥390000.00 |
发票要求
|
含税要求
|
送货要求
|
安装要求
|
收货地址
| 海韵园科研一507 |
供应商资质要求
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
公告说明
|
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
| 感应耦合等离子体刻蚀机 |
1 |
台 |
|
品牌
|
型号
|
预算单价
| ¥ 390000.00 |
技术参数及配置要求
| 该设备主要指标: 1 设备通用指标 真空室尺寸: Φ370mm×H300mm 整机尺寸:L1300mm×W900mm×H1700mm 整机重量:650Kg 样片大小及数量:φ6 英寸样片 1 片或散片 多片 2 真空度指标 极限真空度:≤2×10-4Pa 系统漏率: ≤5×10-7Pa﹒L/s 静态升压:系统停泵关机 12 小时后,真空 度≤5Pa 抽气速率: 系统充干燥 N2 解除真空,短时暴露大 气后抽气至 5×10-3Pa≤15min 系统充干燥 N2 解除真空,短时 暴露大气后抽气至 9×10-4Pa≤40min 3 工艺指标 刻蚀不均匀 性:≤±5%(φ8 英寸范围内) 刻蚀距离调节范围:60- 120mm,自动调节 刻蚀距离调节精度:1mm 4 温度指标 水冷台 工作温度:10℃-35℃ |
参考链接
|
售后服务
| 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训; |
附件(1)
厦大(家具外通用、科研)合同.doc下载预览