感应耦合等离子体刻蚀机(A-WZBX1300)采购公告

发布时间: 2026年05月12日
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项目名称 项目编号 公告开始日期 公告截止日期 采购单位 付款方式 联系人 联系电话 签约时间要求 到货时间要求 预算总价 发票要求 含税要求 送货要求 安装要求 收货地址 供应商资质要求 公告说明
感应耦合等离子体刻蚀机****
2026-05-12 16:00:422026-05-15 18:00:00
****
签约后30个工作日内
¥390000.00
海韵园科研一507

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件


采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
感应耦合等离子体刻蚀机 1
品牌 型号 预算单价 技术参数及配置要求 参考链接 售后服务
¥ 390000.00
该设备主要指标: 1 设备通用指标 真空室尺寸: Φ370mm×H300mm 整机尺寸:L1300mm×W900mm×H1700mm 整机重量:650Kg 样片大小及数量:φ6 英寸样片 1 片或散片 多片 2 真空度指标 极限真空度:≤2×10-4Pa 系统漏率: ≤5×10-7Pa﹒L/s 静态升压:系统停泵关机 12 小时后,真空 度≤5Pa 抽气速率: 系统充干燥 N2 解除真空,短时暴露大 气后抽气至 5×10-3Pa≤15min 系统充干燥 N2 解除真空,短时 暴露大气后抽气至 9×10-4Pa≤40min 3 工艺指标 刻蚀不均匀 性:≤±5%(φ8 英寸范围内) 刻蚀距离调节范围:60- 120mm,自动调节 刻蚀距离调节精度:1mm 4 温度指标 水冷台 工作温度:10℃-35℃
商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;

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2026-05-12
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