潭环审〔2026〕17号
关于**晶****公司《年产6000套半导体用高纯石墨制品建设项目环境影响报告书》的批复
**晶****公司:
你公司(地址:**省韶****开发区电子信息产业园18号栋,法人代表:朱苏华,统一社会信用代码:****0382MAE0P1LF80)于 2026 年4月7日提交的由******公司编制的《关于环评审批的申请函》及相关附件已收悉,我局已于2026年4月7日受理。经审查,你公司报批《年产6000套半导体用高纯石墨制品建设项目环境影响报告书》(以下简称《报告书》)符合国家关于建设项目环境影响评价文件审批的有关规定,根据《中华人民**国行政许可法》第三十八条第一款“申请人的申请符合法定条件、标准的,行政机关应当依法作出准予行政许可的书面决定”以及《中华人民**国环境影响评价法》第二十二条第一款“建设项目的环境影响报告书、报告表,由建设单位按照国务院的规定报有审批权的生态环境主管部门审批”等规定,我局决定准予行政许可,具体如下:
一、**晶****公司拟投资5000万元,在韶****开发区电子信息产业园18号栋现有厂房建设年产6000套半导体用高纯石墨制品建设项目,并同步配套建设相关公用工程及辅助设施。项目总建筑面积2666.84m2(一层),主要利用成型石墨、氟利昂R14、甲基三氯硅烷、丙烯、五氯化钽(TaCl5)等原辅材料,采用线锯机、高温纯化炉、数控车床、数控磨床、精雕机、超声波清洗机、烘干机、气相沉积炉、粉碎机、打包机等设备,通过切割、纯化、机加工、清洗、烘干、涂层(碳化硅涂层、热解碳涂层、TaC涂层)、质量控制(不合格品破碎)、包装等工艺流程,制备半导体用高纯石墨制品。项目建成后实现年产6000套半导体用高纯石墨制品。
根据《报告书》分析结论及专家意见,该项目符合国家相关产业政策,在建设单位严格落实《报告书》及本批复提出的各项生态环境保护措施和风险防范要求,污染物稳定达标排放的前提下,从环境保护的角度,我局原则同意本项目环境影响报告书中所列建设项目的规模、工艺、地点和环境保护对策措施。
二、项目在建设及运营管理期间,建设单位必须落实环评报告书提出的各项环保要求,确保各项污染物稳定达标排放,并着重做好以下工作:
(一)施工期环境保护措施。项目利用现有厂房进行建设,主要为设备安装。项目在施工期须切实做到文明施工、科学施工,落实“三废”治理和噪声防护措施。
(二)大气污染防治措施。严格落实报告书中提出的各项废气污染防治措施,确保大气污染物排放满足国家和地方有关标准,严格管控废气无组织排放,强化车间密闭及粉尘收集措施,按要求做好臭氧层消耗物质(氟利昂)备案工作。切割、破碎、机加工产生的废气(颗粒物)收集后通过布袋除尘器处理,满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2中的二级排放标准要求后经一根18m高排气筒达标排放;纯化废气(氟化物)收集后经二级碱液喷淋塔处理,满足《工业炉窑大气污染物排放标准》(GB9078-1996)表4中浓度限值后经一根18m高排气筒达标排放。涂层工序CVI沉积及PIP热裂解废气(非甲烷总烃、颗粒物、氯化氢)经过二级碱液喷淋+除雾+二级活性炭处理,颗粒物及氯化氢满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2中的二级排放标准要求、非甲烷总烃满足《工业企业挥发性有机物排放标准》(DB43/3550-2026)表1中计算机、通信和其他电子设备制造业VOCs有组织排放限值后经一根18m高排气筒达标排放。厂界无组织排放颗粒物、非甲烷总烃须满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2中排放标准要求;厂区内VOCs无组织排放满足《工业企业挥发性有机物排放标》(DB43/3550-2026)中相关限值要求。
(三)水污染防治措施。严格按照“雨污分流、污污分流”的原则管理排水管网。项目生产废水主要包括清洗废水、喷淋塔循环水、涂层工序喷淋废水、冷却水、制备纯水产生的浓水等,清洗废水经调节池+沉淀池处理达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1排放限值后,经市政管网进入**市**桥****公司处理;喷淋塔循环水需定期更换,纯化工序喷淋废液作为危险废物交由有资质单位处置,涂层工序喷淋废水采用高效蒸发器处理后水冷凝回用于蒸发器;冷却用水循环使用,不外排;制备纯水产生的浓水作为喷淋塔的补充用水,不外排。生活污水经隔油+化粪池预处理满足《污水综合排放标准》(GB8978-1996)三级****园区污水管网进入**市**桥****公司处理
(四)噪声污染防治措施。优化车间设备布局,选用低噪声设备,****设备处于良好的运转状态,做好车间厂房的隔声降噪措施,加强设备的维护保养,降低生产设备噪声,确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准要求。
(五)固体废物污染治理措施。严格按照“无害化、减量化、**化”原则,将各类固体废物分类收集贮存、转运、综合利用、安全处置。粉尘、废包装物、废料、氯化钠收集暂存后外售,废旧布袋、废过滤膜、废渣收集暂存后交由环卫部门定期清运;废活性炭、氯硅烷类物质、废真空泵油、废机油、废机油桶、纯化工序喷淋废液、废弃抹布和劳保用品(含油)等危险废物的收集、运输、暂存以及管理应按照《危险废物收集贮存运输技术规范》(HJ2025-2012)、《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)要求,分类存放于厂区内危险废物暂存间,并定期交由有资质单位处置,不得造成二次污染。生活垃圾经分类收集后交由环卫部门统一清运、定时处理。
(六)环境风险防范工作。加强生产和环保管理,提高清洁生产水平,设置专职环保管理人员,落实环保设施管理责任。制定严格的风险防范措施方案、安全操作规程,按要求制定突发环境事件应急预案,防止事故发生,避免或者减缓环境风险情况下对环境的不利影响;项目各项环保设施的设计、建设、运行、管理应符合安全生产要求。
三、根据核定,项目主要污染物排放总量控制指标为:VOCs:0.3t/a。
四、建设单位须严格执行“排污许可”“三同时”管理规定及相关环境管理制度,按照《排污许可管理条例》等相关法律法规规定申请排污许可证;运营期严格依法按证排污,并按要求做好相关台账记录。项目建设和运营期的日常监督管理由**生态****执法大队负责。
五、环境影响报告书经批准后,建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动的,建设单位应当重新报批建设项目环境影响评价文件。建设项目的环境影响评价文件自批准之日起超过五年,方决定开工建设的,其环境影响评价文件应当报原审批部门重新审核。
你公司如对本批复不服,可以在收到决定书之日起六十****人民政府申请行政复议,或者****人民法院提起行政诉讼。
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2026年4月29日
抄送:******分局、**生态****执法大队、******公司