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无掩膜光刻机（A-WZBX1302）采购公告

公告-招标公告

福建 -厦门

发布时间： 2026年05月13日

摘要信息

招标单位

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代理联系人

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投标截止时间

关键信息

采购公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

无掩膜光刻机	****
2026-05-13 09:11:59	2026-05-16 11:00:00
****

	签约后30个工作日内
￥989825.00




海韵园科研一507
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

无掩膜光刻机

台

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 989825.00

1.无需物理掩膜板； 2.直写分辨率模式：0.6μm，1.0μm，和 5.0μm 共计 3 个原位直写模式，且 3 种直写分辨率模式可通过软 2 / 8件自动切换，无需人工切换镜头； 3.最快直写速度（mm2/min）：****@0.6μm，50@1μm, 180@5μm； 4.对准及套刻精度：±1um； 5.直写光源为 385nm，满足多样化光刻胶不同波长光源要求；光源功率：1.5W； 6.最大基片尺寸：230mm 直径；最大基片厚度：15mm； 7.最大加工区域：195mm×195mm； 8.配有光学轮廓探测系统，可进行二维成像，Z 向分辨率优于 200nm; 9.配备 Focus-lock 自动对焦组件,可对表面不平整的样品进行 Z 向聚焦加工面自动调节； 10.配备自动标记识别功能，可快速自动识别特定图形标记图案。 11.配备可视化虚拟电子掩膜版对准功能（VMA）； 12.带有同一任务不同区域不同分辨率模式自动组合加工功能。 13.配套特殊配置的计算机一套；

商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;

附件下载:标书代写厦大（家具外通用、科研）合同.doc

附件（1）