高精密微纳器件制备与转移系统采购项目成交公告

是否接受进口

拒绝进口

品牌

泽攸科技

型号

ZML100A

生产厂商

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产地信息

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技术规格及参数

1、光源：三颗LED光源;
1.1、曝光光源：高均匀度强光LED，405nm（投影光斑均匀度优于90%）;
1.2、引导光源：绿光560nm引导曝光，所见即所得；
1.3、观察光源：白光，已做滤波处理，避免白光对光刻胶特性造成影响;
2、掩模版类型：数字掩模版;
3、高速DMD：DLP6500+DLPC910;
3.1、分辨率：1920*1080;
3.2、像素尺寸：7.56um;
3.3、位深：16bit；
4、最小线宽：0.5um；最小等间距线栅：优于1um；
5、配备4个光刻镜头；
5.1、光刻镜头50x，3mm^2/min(@0.5um)；
5.2、光刻镜头20x，20mm^2/min(@0.7um)；
5.3、光刻镜头10x，80mm^2/min(@1um)
5.4、光刻镜头5x，300mm^2/min(@2um)；
6、套刻精度：5mm*****@0.5um；
7、物镜切换：配备4个物镜接口；
8、相机：靶面尺寸＞1英寸，像素＞2000万；
9、对焦模式：激光主动对焦（对焦速率优于100ms）、图像自动对焦；
10、样品台
10.1、最大样品尺寸：4寸（带真空吸附套件及样品固定夹具）；
10.2、 XY轴样品台：高精度直线电机，重复定位精度±0.15um，定位精度±1um；
10.3、Z轴电动台：步进精度优于20nm；
10.4、R轴电动台：±10°，定位精度0.005°；
11、可支持样品厚度：0-10mm；
12、可支持数据格式：DXF、GDS、bmp、png等；
13、软件语言：C#；
14、软件功能：
14.1、套刻辅助：通过将物象绑定与套刻对准深度融合，大大提高对准效率，能够更加直观判断对准效果；
14.2、原位绘图：结合第三方开源软件，实现样品的原位光刻功能；
14.3、显微拼接：通过快速拍摄样品表面不同位置的显微图片，通过算法融合形成一幅大视场的显微图，帮助用户观察样品表面情况、呈现光刻结果；
14.4、多任务光刻，可完成
场景一：对同一图层的不同区域设置不同的光刻剂量，实现最佳的光刻效果；
场景二：不同图层或多个图案文件设置不同光刻剂量，实现高效光刻流程；
14.5、拼接精度校正：内置拼接校正算法，用于校正拼接错位；
14.6、切图模块：
14.6.1、CAD图形渲染：在切图前为用户提供 CAD 图形预览与交互功能，整体渲染基于 OpenGL 实现，利用 GPU 硬件加速，相较于传统 GDI+ 绘制方式，在渲染效率和交互流畅度上均有显著提升。
（1）超大规模文件支持：最大可支持打开百万级以上图元数量的 CAD 文件，支持dxf、dwg、gds、bmp、png、 jpeg等多种格式。
（2）高速加载能力：对于包含约 10 万个图元的CAD 文件，打开时间仅需 3 秒左右。
（3）高流畅交互体验：对于包含约 100 万个图元的CAD 文件，平移、缩放、框选等操作无明显卡顿。
14.6.2、CAD切图
（1）高性能切图：对切图业务逻辑引入多线程、模板匹配等加速策略，切图性能可达约 500 张/分钟。
（2）自定义框选切图：支持用户自定义框选区域，灵活指定不要被切割的图形区域。
（3）图形仿射变换：在切图阶段引入仿射变换能力，可对图形进行精确的旋转、缩放、平移及剪切操作。
（4）特色功能增强用户体验：集成测量、切图结果预览等辅助功能，用户可在曝光前直观验证切图效果。
14.6.3、切图日志：记录每次切图操作的关键信息，包括时间、源图文件路径、结果保存路径及切图参数配置。支持一键导入历史配置，实现快速复用；同时支持添加备注信息，并提供基于备注的模糊搜索功能，便于切图记录的追溯与管理。
14.6.4、光强校准：通过灰度调制技术对曝光图形进行精细补偿，有效校正 DMD 光强分布不均问题，提升曝光一致性，降低因光强差异带来的微观尺寸误差，提高加工精度与稳定性。
14.6.5、三维光刻：支持基于灰度高度映射的三维光刻切图，可将三维模型或高度数据转换为对应的灰度曝光图，实现精确三维形貌控制。
14.7、跨分辨率光刻：可同时用不同分辨率光刻镜头进行光刻，提高关键尺寸得光刻质量，同时提高光刻效率；
15、转移系统：
15.1、样品台三轴位移台：电动XY轴行程±15mm，电动R轴±360°，数显角度；
15.2、载玻片五轴位移台：电动XY轴行程±15mm，电动Z轴行程10mm，手动αβ轴行程±2°；
15.3、样品加热台最高温度：240℃，风冷冷却，温控精度±0.1℃，含复合温控器（显示角度与温度）；
15.4、样品固定方式：真空吸附 碳胶黏附；
15.5、真空吸附阀密封方式：胶圈密封，最大负压0.8Mpa；
15.6、桌面式气浮台；
15.7、配置液氮低温系统：-185℃；
16、整体平台系统适配手套箱。

质保期

质保期（验收合格之日起计算）2年内免费保修（人为因素除外）。

售后要求

1.服务响应时间,提供 7x24技术支持，在接到客户要求维护的通知后，由专业人员2小时内响应，4小时内提出具体解决方案，48小时内专业技术人员上门现场解决，使设备尽快恢复正常。 2.在设备使用中不管质保期内还是质保期外，及时更新操作系统和安全补丁的安装或升级。 3.设备超过质保期后，如出现故障，需要更换零部件的只收取成本价。