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桌面式光刻系统（XJ-WSBX-2600151）采购公告

公告-招标公告

浙江 -杭州

发布时间： 2026年05月14日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

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招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

采购公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

桌面式光刻系统	****
2026-05-14 11:01:25	2026-05-21 13:00:00
****	货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额

	成交后7个工作日内
￥320000.00




生物系****学院543实验室
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

桌面式光刻系统

台

光学测试仪器

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 320000.00

该设备曝光面积110mm×110mm，波长365nm，分辨力0.8μm，对准精度±0.5μm，最大胶厚350μm。光源平行性＜1.8°，照明不均匀性≤2%。曝光头启动时自动水平伸缩。采用紫外LED，强度40mW，定时曝光。掩模尺寸3-5英寸，样片尺寸2-4英寸（厚度0.1-5mm），掩模样品相对运动行程X/Y各5mm，θ±6°。对准显微镜放大400倍，扫描范围X±50mm、Y±20mm。配备4.6英寸触屏，推拉式真空吸附。旋涂装置转速100-12000rpm，加速度99999RPM/s，带安全互锁。加热装置室温-350℃，热板200×200mm，温控均一性≤2%，稳定性±1℃。配套光刻胶膜厚≥300μm，容量≥500ml。

质保期:1年;

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