材料系真空高低温探针台采购采购公告

是否接受进口

接受进口

品牌

Semiprobe、ARS、PRCBE

型号

SA-4VP、PS-L、DOT

技术规格及参数

1. 四英寸温控载物台，温控范围-196℃~600℃，温控分辨率0.1℃；
2. 采用液氮负压循环制冷系统，同轴液氮传输管降低液氮消耗量，液氮消耗量≤1.5L/H；
3. 真空腔体采用不少于17个原生真空法兰接口便于日后自行拓展升级，并采用无磁高导热的全铝真空腔体（需要提供真空腔体的实物图片证明）；
4. 探针台采用紧凑布局平台直径≤600mm，便于实验操作同时能够兼顾周边仪器仪表摆放；
5. 显微镜物镜为1x和10x快速切换物镜，并配置0.7x~4.5x独立光学**变倍，配置与DMD点对点coms传感器；
6. 显微镜入射光路加入三同轴光路系统，集成DMD光路、照**路和成像光路同时或50:50分光；
7. 真空腔盖采用内锥结构能够配合10x物镜的较短工作距离，并配置三维显微镜气动定位平台，xy行程50x50mm，z轴斜升快速气动行程100mm避免与真空腔盖取放干涉。
8. 配置六个真空腔外探针座，xyz三轴行程25mmx25mmx50mm，定位分辨率±1μm。
9. 配置六个nano同轴探针夹具，漏电＜50fA@±200v，采用全同轴结构阻抗匹配50Ω频率≥10MHZ。
10. 配置非玻璃烧结的三同轴真空穿墙接头，真空内外都配置guard层，接头芯部结构为无氧铜与真空外夹具线缆线芯材质保持一致，避免产生热电势。
11. 配置与台体一体的双阻尼落地减震结构，应对液氮核化与真空管路带来的内源性震动，不得用常规空气减震台增加内源性摆幅。

质保期

1年

售后要求

1. 中标人提供制造商免费质保 1 年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算，在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知48小时内赶到现场进行修理或更换，保修期间维修及零件更换费用由厂家负担。由制造商提供质保服务，由制造商提供售后服务。如未按上述约定，在收到通知后2个工作日内维修或更换不符或有缺陷的货物或部件，则甲方有权采取必要的补救措施并追究乙方的违约责任，由此导致的责任和费用由乙方承担。 2. 维修响应时间：前述保修期内，如本合同项下的货物出现损坏和故障，则乙方应在接到甲方通知后48小时内赶到现场免费予以维修或调换并无条件免费提供所需的零部件。并在48小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。 3. 验收标准：根据招标要求及双方所签订的技术协议书逐条验收，设备经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保**件。 以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告： a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料； b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求； c、货物具备产品合格证。 4. 技术培训：在用户所在地对用户给予一年内免费搬迁已安装调试完毕的合同货物1次、免费调试已安装调试完毕的本合同项下货物1次、免费培训服务1次。