招标详情
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400-688-2000
项目名称
| 分子束外延系统 | 项目编号
**** |
公告开始日期
| 2026-05-14 14:46:22 | 公告截止日期
2026-05-18 16:00:00 |
采购单位
| **** | 付款方式
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联系人
| 联系电话
|
签约时间要求
| 到货时间要求
签约后30个工作日内 |
预算总价
| ¥880000.00 |
发票要求
|
含税要求
|
送货要求
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安装要求
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收货地址
| ******校区能源材料大楼1号楼 |
供应商资质要求
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
公告说明
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采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
| 分子束外延系统 |
1 |
台 |
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品牌
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型号
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预算单价
| ¥ 880000.00 |
技术参数及配置要求
| 1. UHV生长腔体-MBE-S300:球状腔体,材质316不锈钢,顶法兰DN100CF;蒸发源安装法兰2×DN40CF、3×DN63CF;预留对接法兰DN63CF;其他预留法兰口可用于安装样品架、RHEED、QCM、真空规、真空泵、闸板阀、蒸发源、Loadlock等。 2. 膜厚测量仪:晶振探头内置水冷管路,安装法兰DN40CF;6 MHz晶振片10片;QCM振荡器及线缆;FTM 2400双通道控制器,速率显示0.01 /s;CF40线性驱动,150 mm行程,手动。 3. UHV抽气泵组-S300-Pf:Pfeiffer Hipace300分子泵(DN100CF)1台,Nxds10i干式涡旋机械泵1台,配真空抽气管路、电磁控制安全阀和放气阀;生长腔完全烘烤后本底真空优于5E-10 mbar。 4. UHV测量模块:Agilent UHV-24离子规(DN35CF)、皮拉尼真空规及Agilent XGS-600真空规控制器,测量通道≥6。 5. 真空控制及安全保护:电气控制柜集成真空泵保护、真空关联互锁、烘烤安全保护;大触摸屏人机界面;可与电脑通讯并记录数据。 6. 高温样品架套装:4轴高温样品架FLAG1-W-V-M300,安装法兰DN100CF,竖直安装;钨丝加热,温度范围RT–1200 K;X/Y手动移动±7.5 mm,Z向电动100 mm,Theta(R1)电动旋转±180°;配3016直流温控电源-25V20A-K热偶;兼容闪硅加热样品托。 7. 快速进样腔:SS316不锈钢腔体,充分烘烤后本底真空优于5E-8 mbar;配Pfeiffer hipace80分子泵、手动闸板阀、全量程真空规、样品抓取传样杆、12个旗型样品托停放工位、快速进样门及DN100CF视窗。 |
参考链接
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售后服务
| 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训; |
附件(1)
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