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真空屏蔽舱抽气系统
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其他
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质量等级/性能等级:满足甲方需求。;附加技术条件:设备用途及基本情况 (1)低温泵:抽速≥10000L/s,选用国际知名品牌; (2)分子泵:抽速≥2000L/s; (3)干泵:抽速>100m3/h,选用国际知名品牌; (4)极限真空度:≤5.0×10-5Pa; (5)工作真空度:≤1.3×10-3Pa; (6)真空检测点数:3处,罐体顶部布置1个高真空度测点、1个低真空度测点、抽空管道布置1个低真空度测点。
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1.0
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套
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一次性交货
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