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| 1 | - | 真空屏蔽舱阀芯组件 | 其他 | 质量等级/性能等级:满足甲方需求。;附加技术条件:材料:具有良好的防锈性能的铝合金、铜合金和不锈钢等材料; 工作压力:1atm~2.5×10^(-5) Pa,阀板密封采用双向设计,在反顶大气压时也可密封; 漏率: < 10^(-7) Pa﹒L/s; 振动:起停时振动低,对系统冲击小; 结构: 阀板密封采用双向设计。 可选配加装阀门启闭信号控制器,便于编程自动化控制; 密封设计:采用波纹管作为位移的动密封,无动态漏气,无油脂污染,避免产生颗粒污染。真空部分尽量避免采用真空脂。 (1)产品组装环境应不低于10万级洁净要求;半成品储存:对未完成的及组装前的半成品、阀门组件等,应装入密封袋中,并在无酸碱、潮湿、粉尘环境下储存; (2)组装前应对组件、管道进行内部洁净度检测,检测方法是在配气台上组装; (3)控制系统按照抽气流程对各真空泵阀等组件进行自动控制,从而实现由常压至高真空过程的真空抽气控; (4)元器件采用通用组件; (5)耐热设计:在接近高温区的组件、电线等设备及其附件采取防护措施并采用耐高温材料制成; (6)设计时尽量采用通用化、系列化、模块化板卡与组件,并按结构化组合,以减低维修量; (7)设备总体及各零部组件应该包装完整。 | - | - | 1.0 | 套 | 一次性交货 | - | - | - |