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| 电子束蒸发设备 | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年5至12月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 电子束蒸发设备 |
| 预算金额: | 250.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****9900其他仪器仪表
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| 采购需求概况 : |
晶圆尺寸:兼容6英寸及以下;电子枪坩埚配置:6*15CC;均匀性(6英寸):片内优于±3%;片间优于±2%;包含自动进样室和工艺腔.
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| 预计采购时间: | 2026-06 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写