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嵊州市西格玛科技有限公司年产3000套半导体长晶炉用高纯碳材料热场项目

审批

浙江-绍兴-嵊州市

发布时间： 2026年05月19日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
913********5706897	马建军
赵叶明	省市**市
**市浙锻路88号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

****年产3000套半导体长晶炉用高纯碳材料热场项目	****

2021版本:060-耐火材料制品制造、石墨及其他非金属矿物制品制造	C3091-C3091-石墨及碳素制品制造
	省市市市浙锻路88号
经度:120.85797 纬度: 29.62179	**环境局**分局
	2025-01-09
嵊环建〔2025〕7号	913********5706897002V
2026-02-10	5000
145	****
913********5706897	****
913********5706897	******公司
913********218253R	2026-02-05
2026-02-28	2026-05-31
2026-04-20	2026-05-15
	https://www.****.com/gs/detail/2?id=60420f0UwO

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

改扩建	改扩建
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产3000套半导体长晶炉用高纯碳材料热场	年产2000套半导体长晶炉用高纯碳材料热场
先行验收

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

工艺说明：本项目生产内容包括两部分内容： ⑴产品机加工工序：本项目实施后，将外购的成品等静压石墨根据产品尺寸要求进行切割，再进行钻、车、刨、雕刻等进一步精加工后运回仙岩厂区进行后道工序。 ⑵半导体长晶炉用高纯碳材料热场： ①机加工：将外购的成品等静压石墨根据产品尺寸要求进行切割，再进行钻、车、刨、雕刻等进一步精加工。 ②纯化：为进一步提高产品纯度，机加工后需对其进行纯化。外购的成品等静压石墨含碳量为99.99%，纯化后碳含量可达99.9995%。纯化工艺的生产设备为高温纯化炉，采用电加热，纯化过程于真空环境中进行。将块状石墨装入纯化炉后，先通过入氩气（液氩汽化）形成氩气保护层对真空室进行保护，防止空气进入，氩气仅为保护气，不参与纯化过程。先将纯化炉先升温至800℃，再阶梯式加热到2400℃，石墨中的杂质因高温汽化从而提高了石墨的纯度。每批次纯化时间约为6天，纯化结束后真空泵将炉体内的气体抽到炉外，最后逐渐冷却降至室温，纯化炉炉体采用循环冷却水系统冷却，冷却水经冷却塔冷却后循环使用，定期补充、不外排。 ③检验：经检验合格后的成品即可包装入库。	工艺说明：本项目生产内容包括两部分内容： ⑴产品机加工工序：本项目实施后，将外购的成品等静压石墨根据产品尺寸要求进行切割，再进行钻、车、刨、雕刻等进一步精加工后运回仙岩厂区进行后道工序。 ⑵半导体长晶炉用高纯碳材料热场： ①机加工：将外购的成品等静压石墨根据产品尺寸要求进行切割，再进行钻、车、刨、雕刻等进一步精加工。 ②纯化：为进一步提高产品纯度，机加工后需对其进行纯化。外购的成品等静压石墨含碳量为99.99%，纯化后碳含量可达99.9995%。纯化工艺的生产设备为高温纯化炉，采用电加热，纯化过程于真空环境中进行。将块状石墨装入纯化炉后，先通过入氩气（液氩汽化）形成氩气保护层对真空室进行保护，防止空气进入，氩气仅为保护气，不参与纯化过程。先将纯化炉先升温至800℃，再阶梯式加热到2400℃，石墨中的杂质因高温汽化从而提高了石墨的纯度。每批次纯化时间约为6天，纯化结束后真空泵将炉体内的气体抽到炉外，最后逐渐冷却降至室温，纯化炉炉体采用循环冷却水系统冷却，冷却水经冷却塔冷却后循环使用，定期补充、不外排。 ③检验：经检验合格后的成品即可包装入库。
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

根据“雨污分流、清污分流”的原则，建立排水处理设施，做好水污染防治工作。生活污水经化粪池预处理达标后纳入市政污水管网，最终****处理厂处理达标后排放。纳管标准执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准要求，氨氮执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）中相关标准。规范设置排放口。所有废水不得排入周围河道或雨水管，切实防止对周围水环境的影响。做好废气污染防治工作。机加工废气经吸风管收集后经三套“脉冲除尘器”处理后，尾气分别通过3个20m高排气筒（排气筒编号DA001~DA003）高空排放；纯化炉炉体排风口和废气收集管道直连，纯化废气收集后经一套“喷淋塔”除尘装置处理后，尾气通过20m高排气筒（排气筒编号DA004）高空排放。项目各类废气排放须达到GB16297-1996等相关要求。具体限值参见《环评报告表》。做好噪声防治工作。合理布置厂区，选用先进、低噪声设备，高噪声设备不得布置在厂界周围，对高噪声设备底座安装减振装置或减振垫；对设备进行经常性维护，保持设备处于良好的运转状态，生产时关闭门窗，同时加强内部管理，合理作业，避免不必要的突发性噪声；确保噪声排放达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中相关标准要求。妥善处置固体废弃物，规范固废分类收集和暂存，并及时清运和处置，严防二次污染。一般废包装材料收集后外售综合利用；边角料及次品、粉尘收尘由原料厂家回收利用；废滤袋、喷淋沉渣委托一般工业固废处置单位处理；废油、废油桶等危险废物委托有资质单位处置；生活垃圾委托环卫部门清运。危险废物在厂区内暂存执行《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）的要求；一般固废的贮存和处置必须符合《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）的相关要求。	根据项目实际调查，本项目喷淋水循环使用，定期捞渣、定期补充，不外排；故本项目外排废水仅为生活污水。实际具体防治措施如下：（1）厂区雨污分流、清污分流。（2）本项目生活污水经化粪池预处理后纳入市政污水管网**处理厂处理。（3）按规范做好污水管道的防腐防渗，防止对地下水造成污染。根据项目实际调查，项目运行生产过程中的废气主要为机加工废气以及纯化废气。实际具体防治措施如下： 1.机加工废气：收集的石墨粉尘经三套“脉冲除尘器”处理后，尾气合并通过1个20m高排气筒（排气筒编号DA001）高空排放； 2.纯化废气：纯化废气收集后经一套“喷淋塔”除尘装置处理后，尾气通过25m高排气筒（排气筒编号DA002）高空排放。本项目生产过程中的噪声源主要为各生产设备及环保设施运行噪声等，为尽可能减少噪声污染，噪声防治对策应从声源上降低噪声和从噪声传播途径上降低噪声两个环节着手： ⑴优先选择了低噪声环保型的生产设备； ⑵对高噪声的设备采用了隔声、减振的措施； ⑶合理地布置车间平面，高噪声设备已安置在车间中部进行工作； ⑷车间正常生产时提前做好了关门、关窗的工作； ⑸加强了工人的生产操作管理，减少人为噪声的产生； ⑹定期做好了设备维护的工作，避免非正常生产噪声产生； ⑺对噪声源强较高的风机、冷却塔及空压机配套隔声房或隔声罩，并对底座安装减震装置或减震垫。根据固废鉴别，本项目产生的边角料及次品、粉尘收尘、废滤袋、喷淋沉渣、一般废包装材料和员工生活垃圾均属于一般固体废弃物。边角料及次品、粉尘收尘收集后在室内一般固废堆场分类堆放暂存，定期由原料厂家回收利用；废滤袋、喷淋沉渣收集后在室内一般固废堆场分类堆放暂存，并委托一般工业固废处置单位处理；一般废包装材料收集后在室内一般固废堆场分类堆放暂存，**公司综合利用；生活垃圾经垃圾桶收集后由环卫部门统一处置。项目设有的一块危废仓库区，占地面积约10m2，位于1#厂房外东南角仓库。产生的一般废物于一般固废仓库暂存，占地面积约10m2，位于1#厂房内外东南角仓库。危废暂存库按要求做好了防渗防漏等工作，同时标识标牌、周知卡、管理制度等已按要求上墙，并配有危险废物管理台账。产生的固废及时收集，整齐堆放，定期清理，并设有专人做好相应的管理、贮存、交接、外运等登记工作，完善台账信息。
根据现场调查，机加工废气由3根排气筒排放合并为1根排气筒（DA001）排放，纯化废气排放的排气筒（DA002）高度由20m调整为25m高，其他与环评及批复一致一般固废暂存区和危废仓库的位置有所调整，从环评设计的1#厂房东侧调整到了1#厂房外的东南角仓库，其他与环评及批复一致针对以上内容已作非重大变动补充说明

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

无	无
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0.5985	0.95	1.7745	0.144	1.405	0.806
0.024	0.028	0.059	0.006	0.046	0.022
0.001	0.001	0.004	0.0003	0.002	0.001
0	0	0	0	0	0
0	0	0	0	0	0
0	0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	0	/
0.405	1.107	3.171	0.553	0.959	0.554	/
0	0	0	0	0	0	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

生活污水处理设施

《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB 33/887-2025）表1中其它企业限值；《污水综合排放标准》（GB 8978-1996）表4中三级标准

本项目产生的生活污水经化粪池预处理达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准后，纳入市政污水管网

已监测

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	机加工废气处理设施	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中的最高允许排放浓度及速率的二级标准	收集的石墨粉尘经三套“脉冲除尘器”处理后，尾气合并通过1个20m高排气筒（排气筒编号DA001）高空排放	已监测
2	纯化废气处理设施	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中的最高允许排放浓度及速率的二级标准	纯化废气收集后经一套“喷淋塔”除尘装置处理后，尾气通过25m高排气筒（排气筒编号DA002）高空排放	已监测

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

降噪措施

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）中3类功能区限值要求

本项目生产过程中的噪声源主要为各生产设备及环保设施运行噪声等，为尽可能减少噪声污染，噪声防治对策应从声源上降低噪声和从噪声传播途径上降低噪声两个环节着手： ⑴优先选择了低噪声环保型的生产设备； ⑵对高噪声的设备采用了隔声、减振的措施； ⑶合理地布置车间平面，高噪声设备已安置在车间中部进行工作； ⑷车间正常生产时提前做好了关门、关窗的工作； ⑸加强了工人的生产操作管理，减少人为噪声的产生； ⑹定期做好了设备维护的工作，避免非正常生产噪声产生； ⑺对噪声源强较高的风机、冷却塔及空压机配套隔声房或隔声罩，并对底座安装减震装置或减震垫。

已监测

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

妥善处置固体废弃物，规范固废分类收集和暂存，并及时清运和处置，严防二次污染。一般废包装材料收集后外售综合利用；边角料及次品、粉尘收尘由原料厂家回收利用；废滤袋、喷淋沉渣委托一般工业固废处置单位处理；废油、废油桶等危险废物委托有资质单位处置；生活垃圾委托环卫部门清运。危险废物在厂区内暂存执行《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）的要求；一般固废的贮存和处置必须符合《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）的相关要求。

本项目产生的边角料及次品、粉尘收尘、废滤袋、喷淋沉渣、一般废包装材料和员工生活垃圾均属于一般固体废弃物。边角料及次品、粉尘收尘收集后在室内一般固废堆场分类堆放暂存，定期由原料厂家回收利用；废滤袋、喷淋沉渣收集后在室内一般固废堆场分类堆放暂存，并委托一般工业固废处置单位处理；一般废包装材料收集后在室内一般固废堆场分类堆放暂存，****公司综合利用；生活垃圾经垃圾桶收集后由环卫部门统一处置。项目设有的一块危废仓库区，占地面积约10m2，位于1#厂房外东南角仓库。产生的一般废物于一般固废仓库暂存，占地面积约10m2，位于1#厂房内外东南角仓库。危废暂存库按要求做好了防渗防漏等工作，同时标识标牌、周知卡、管理制度等已按要求上墙，并配有危险废物管理台账。产生的固废及时收集，整齐堆放，定期清理，并设有专人做好相应的管理、贮存、交接、外运等登记工作，完善台账信息。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程