电子束曝光机(二次)国际公开招标公告

电子束曝光机(二次)国际公开招标公告

日期：2026年5月20日

招标编号：****

****（以下简称“招标机构”）受****（以下简称“招标人”）的委托，邀请有兴趣的潜在投标人就电子束曝光机（二次）的下列货物和有关服务提交密封投标：

电子束曝光机 1台；

技术规格：电子束曝光机，主要用于4吋及6吋晶圆生产中，实现GaN射频芯片0.25μm以下金属化栅极图形的曝光，分辨率可达0.1μm。电子束曝光工艺没有景深限制，因此能够克服化合物半导体外延晶圆（例如砷化镓或氮化镓）表面较不平整的问题来实现0.1μm以下曝光工艺，补足了投影式曝光工艺的不足。

……其它详见招标文件。

资金来源：自筹资金

*交货时间：境内供货：合同签字生效后12个月内货到用户**项目现场；

境外供货：预付款后12个月内货到中国**港。

① 投标人应提供有效的营业执照或营业登记证明文件复印件。

② 境内投****银行基本账户开户许可证或基本账户信息证明文件复印件。

③ 境内投标人需提****银行在开标日前3个月内开具的资信证明原件（含纸质版原件和电子原件）或原件的影印件（若原件标注复印无效则必须提供纸质版原件）；境外投****银行在开标日前3个月内开具的资信证明原件（含纸质版原件和电子原件）或原件的影印件（若原件标注复印无效则必须提供纸质版原件。标书代写

④ 非所投制造商的投标人应获得制造商的有效授权，须提供正本（制造商的有效授权书包括制造商直接开具的；或制造商在中华人民共****公司开具的；或经制造商授权并允许其再授权的单位开具的）

⑤ 投标人或投标人所投货物的制造商自2022年01月01日至今至少有3台与本次招标设备同类型的业绩，业绩证明材料需提供合同关键页，其中合同关键页须包含用户名称、产品名称及型号、签署页（以合同签订日期为准）。

……其它详见招标文件。

文件获取：凡有意参加投标者，请于2026年5月20日起至2026年5月27日17时(**时间)，登录中化商务电子招投标平台（ebid.****.com）进行免费注册，并通过网上支付方式支付平台使用费及技术支持服务费。中化商务数字化服务平台技术支持电话：0574-****2073。平台使用费及技术支持服务费每包售价为500元人民币或75美元或65欧元，售后不退。

纸版投标文件应于2026年6月11日上午10:00分（**时间）之前递交到以下地点，开标仪式定于2026年6月11日上午10:00分（**时间）举行，届时请投标人代表出席开标仪式。标书代写

投标文件递交地点及开标仪式地点：**省**市**区三色路333号**传媒白鹭湾科创园1号楼B座16层。标书代写

本次招标公告在中国国际招标网和中国招标投标公共服务平台发布。

地 址：**省**市**区金科南二路77号

联系人：杨宗元

电 话：028-****9073

地 址：**市**区丽泽路24****中心B座26层/**省**市**区三色路333号**传媒白鹭湾科创园1号楼B座 16 层

联系人：侯悦、周业、陶川东中化项目经理签名

电话：028-****7981、159****9883、178****3215

邮件：****@sinochem.com、****@sinochem.com