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| 1 | 高精度四镜角度调节机构 | 一体加工的“十字交叉柔性铰链”(用于单轴偏转):利用压电陶瓷或超精密电动推杆推动柔性机构的一端,通过杠杆原理实现微小的角度偏转。力臂最大位置为 70 mm,角度1″对应推杆的直线位移约为 0.34 μm。要求实际位移精度优于50nm,真空下偏转精度优于0.2″。 | 套 | 1 | 3个月 | 包含真空配件,供应商负责与四镜系统的集成装配 |