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物理学院等离子除胶机采购项目
招标详情
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**大****学院 - 采购公告（86530****63079）
发布时间：2026-05-20 14:47:56截止时间：2026-05-22 14:47:56 标书代写
采购信息
申购主题
****等离子除胶机采购项目
采购类型
货物
采购联系人
联系人电话
联系人邮箱
截止日期
2026-05-22 14:47:56
收货地址
项目用途
科研
采购预算
79500.00元
币种
人民币
附件
招标信息
报价周期
2天
发票类型
付款方式
签约时间要求
成交后 10工作日
供应商要求
供应商资质
申购备注
采购明细
| 1 | 等离子除胶机 | 1 台 | 79500.00 | CIF | spb5 | 一、产品介绍： CIF 等离子清洗机不仅外观设计美观、而且内在质量过硬，产品性能稳定可靠，主要核心部件全部采用国际知名品牌。 二、用途：1.主要应用于样品表面清洁、活化、键合、去胶、金属还原、简单刻蚀、表面有机物去除、疏水实验、镀膜前处理等。 三、工作条件： 1、工作环境温度：5-35℃； 2、工作环境湿度：≤70%； 3、电源：220/240V、50/60HZ。 四、技术参数： 1.采用电感耦合各向同性（各个方向）等离子激发方式,适用于所有的基 材及复杂的几何构形都可以进行等离子体去胶。 2.PLC工控机控制整个去胶过程，全自动进行,一键完成整个清洗过程。 3.7寸彩色触摸屏互动操作界面，图形化用户操作界面显示，自动监测工艺参数状态。 4.1~20个配方程序，根据用户工艺需求，运行相应的配方程序。手动、自动两种工作模式。 5.采用石英真空舱，全真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。 6.采用铰链式舱门设计，可选用石英舟，更适合晶元硅片去胶应用。 7.有效处理面积大，可处理最大直径150mm晶元硅片。 8.采用防腐数字流量计控制，标配双路气体输送系统，可选多气路气体输送系统，气体分配均匀。 9.具备HEPA高效过滤气体返填吹扫功能 10.处理高效均匀，效率高，工艺重复性好。 11.样品处理温度低，无热损伤和热氧化。 12.安全保护，舱门打开，自动关闭电源 13.舱体内尺寸：D250xΦ160mm，舱体容积：5L。 14.射频电源：13.56MHz，频率偏移量<0.2KHz,射频功率10-300W**可调，精确到1W，最低辉光放电功率10W。 15.激发方式：电感耦合，系统自带自动匹配器。 16.气体控制：质量流量计（MFC）（标配双路，可选多路）流量范围0-500SCCM（可调）。 时间设定1-99分59秒，精确度1秒。 17.真空度要求100pa以内，精确到1Pa。真空值可自由设定范围1-100pa，提供更加纯净的气氛环境，保证处理效果的稳定性和可靠性。 18.真空泵：抽速：8m3/h， 19.气体稳定时间：1分钟。（可根据使用情况自由设定） 20.工艺气体选择：Ar、N、O、H、CF4、CF4+ H2、CHF3或其他混合气体等（可选）。 21.外形尺寸460X580X285mm(LxWxH)，整机重量52Kg。 |
附件（1）
附件_598620303_379133474.doc下载预览
招标进度跟踪
2026-05-22
中标通知
物理学院等离子除胶机采购项目
2026-05-20
招标公告
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