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无掩模光刻机
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***********公司企业信息
****2026年5至12月政府采购意向-无掩模光刻机 详细情况
| 无掩模光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年5至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 无掩模光刻机 |
| 预算金额： | 800.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****9900其他仪器仪表
|
| 采购需求概况 ： |
兼容8寸及以下晶圆以及7寸及以下掩膜版；兼容正、负紫外胶的曝光；可实现优于500nm的图形分辨，可加工600nm 线宽1:1的光栅；正面套刻误差不超过200nm；扫描速率不低于200mm2/min。
|
| 预计采购时间： | 2026-07 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-11-06
2026-11-06
2026-10-16
2026-05-21
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