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热反应系统
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7500000.00
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***********公司企业信息
****2026年5至12月政府采购意向-热反应系统 详细情况
| 热反应系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年5至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 热反应系统 |
| 预算金额： | 750.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****9900其他仪器仪表
|
| 采购需求概况 ： |
可兼容4-6寸晶圆；4管及以上配置，满足LPCVD氮化硅沉积、氧化-退火、TEOS-SiO2沉积和多晶硅沉积工艺需求；升温时间（室温--1200℃）：≤120min；工作温度：350℃~1200℃；氧化-退火工作温度1200℃（N2,O2,H2）；恒温区长度：≥800 mm；恒温区温度要求：±1℃（800mm）
|
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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