招标详情
下文中****为隐藏内容,仅对千里马会员开放,如需查看完整内容请
「注册/登录」或 拨打咨询热线:
400-688-2000
原招标文件中:(2)扫描器XY方向闭环噪声水平≤0.15nm(RMS),Z方向闭环噪声水平≤0.035nm(RMS)。
(6)扫描电容显微镜可检测掺杂浓度范围1.0×1015-1.0×1020/cm3,空间分辨率≤10nm。
投标文件递交截止时间:2026年5月29日 9:00 标书代写
现招标文件变更为:*(2)扫描器XY方向闭环噪声水平≤0.15nm(RMS),Z方向闭环噪声水平≤0.035nm(RMS)。
*(6)扫描电容显微镜可检测掺杂浓度范围1.0×1015-1.0×1020/cm3,空间分辨率≤10nm。
投标文件递交截止时间:2026年6月17日 9:00 标书代写