全重平台建设项目（科研设备）-多尺度功能薄膜材料合成研究设备-薄膜外延加工炉、气相薄膜涂敷仪和热蒸发成膜机-临时

计划编号:

****

计划类别:

临时

计划时间:

2026-6

项目类别:

物资类

项目分类:

三类

项目名称:

全重平台建设项目（科研设备）-多尺度功能薄膜材料合成研究设备-薄膜外延加工炉、气相薄膜涂敷仪和热蒸发成膜机

项目单位:

********研究院****研究所

投资计划批复文号:

中国石油计划[2026]36号

项目概况:

1.薄膜外延加工炉：①载板：适用于1片≥230mm×230mm玻璃或G12硅片样品镀膜，腔室采用上开盖模式的水平流场，前后左右不开门，前驱体源气流平行于基片表面，基片表面没有前驱体垂直流场。②基片温度上限≤150℃，SnO2反应温度≤100℃，控制精度±1℃。③设备可以从手套箱底部与≥2只手套手套箱对接。④金属源：3路可加热直通源，配置swagelok高温快速阀（响应时间＜10ms）、手动阀、≥40ml不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度RT-200℃，控制精度±1℃。⑤氧源：1路常温直通源，配置swagelok快速ALD阀（响应时间＜10ms）、手动阀、≥40ml不锈钢源瓶；1路臭氧源，含臭氧发生器，臭氧产量＞10g/h,浓度＞100mg/L。⑥载气系统：2路N2，MKS流量计控制，所有前驱体源管路采用316L EP管路+VCR密封，并具有在线清洗功能。⑦真空计：MKS全量程真空计1个+inficon工艺薄膜真空计1个，测量范围6E-5Torr-大气压，精度满量程的±1%；真空计前设有保护真空计的过滤网以及气动隔膜阀。⑧气体纯度：水＜1ppm，氧＜1ppm；小时泄漏率：9×10 h。⑨水分析仪：测量范围是0～500ppm，品牌为VTI（美国）进口品牌，型号：MK-XTR-100，不得采用GE探头，水探头可以通过清洗再生程序恢复初始状态，可重复使用，避免了一次污染即报废的问题。氧分析仪：测量范围：0～1000ppm，品牌为VTI（美国）进口品牌，型号：MK-OX-SEN1，采用ZrO2传感器，不得采用燃料电池。 2.气相薄膜涂敷仪：①真空腔室：方箱式，前门水平滑开式，内尺寸≥650mm长*550mm宽*550mm高，SUS304优质不锈钢真空腔室，可便于在手套箱内操作；后门为侧开门，便于设备清理维护；真空系统：≥2000L/s脂润滑分子泵+≥18L/s直联高速旋片式真空泵。②真空极限：6.5×10-5Pa（设备空载，抽真空24小时）；③升压率：停泵12小时后，设备真空度≤10Pa。④基片台：可承载210mm×210mm样片1片，基片台与腔室绝缘设计，基片环境温度可达500℃，基片可实现电动升降功能0-60mm可调，配套1台-1kV偏压电源连接基片台用作对导电材料的等离子清洗。⑤溅射靶及电源：配置3套≥6英寸永磁共焦磁控溅射靶向上溅射，磁控靶配有气

招标组织形式:

委托招标

招标方式:

公开招标

招标组织模式:

一单一招

标包数量:

1

招标公告预计发布时间1:

2026-06-17 00:00

项目类别分类:

招标范围:

薄膜材料制备相关设备采购

主要投标人资格要求:

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其他事项说明:

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