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| 1 | 多轴CT样品台系统 | 大行程Z轴垂直台(1台):ZA16A 分辨率:≦0.5um 行程:±8mm 重复定位精度:≦±0.2μm (AVE. ±0.09μm 水平承载能力:≥196N (20kgf) 小行程z轴垂直台(1套):ZM07A-C3C 台面尺寸:70mm×70mm 水平承载能力:≥49.0N (5kgf) 动范围:±6.5mm 垂直度:≦ 2μm/13mm 分辨率:≦ 10μm XY轴平移台(1套): YM07A-S1 台面尺寸:70mm×70mm 水平承载能力:≥49.0N (5kgf) 动范围:±1.5mm 垂直度:≦ 3μm/3mm 分辨率:≦ 2.5μm Pitch和yaw滚角台(1套): 台面尺寸:100mm×100mm 水平承载能力:≥49.0N (5kgf) 动范围:± 4° 分辨率:≦ 0.****206° 重复定位精度:≦±0.001° 垂直台:ZM07A-C3C 圆光栅(1套): 角度分辨率优于0.01° CT运动控制软件1套: 可二次开发,提供源代码 可与探测器联动满足CT扫描。 上述所有运动平台配套电缆线和光栅尺数据线一套 | 套 | 1 | 12轴 |