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天津大学 - 竞价公告（CB100562026000149）
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**** - 竞价公告（****）
发布时间：2026-05-22 16:45:17 截止时间：2026-05-27 09:00:00标书代写
申购主题： 紫外臭氧清洗仪
报价要求： 进口免税
发票类型： 增值税专用发票
付款方式： 货到验收合格后付款
收货地址： **市/****
供应商资质：
备注说明：
送货时间： 合同签订后7天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
预算： 人民币
| 紫外臭氧清洗仪 | 1.0/ | 日本Samco | UV-1 | 紫外臭氧清洗仪是利用紫外线结合高浓度臭氧，在可控制的温度下，去除样品表面的光刻胶或各种类型的有机物残留，全部工艺为干法工艺，详细参数如下： 1.清洗原理：在腔体内部通入高浓度臭氧，同时在样品下面加热，然后通过紫外光的照射，使臭氧和样品表面的光刻胶或者有机物发生化学反应，从而达到去除样品表面的光刻胶或者有机物残留的作用； 2.样品台：直径200毫米，铝制，表面经过防氧化和防腐蚀处理； 3.★温度控制范围：室温到300度，通过PID热电偶控制； 4.★紫外灯：110瓦低压汞灯，有两种波长：254纳米和185纳米； 5.臭氧发生器：静音型臭氧发生器； 6.定时器：可以设置0到99小时59分钟范围，数字显示； 7.气体管路：一个氧气的机械流量计，流量设定范围0到1升/分钟； 8.吹扫气体：氮气； 9.★臭氧处理器：可消除臭氧至安全排放浓度； 10.★去胶性能：光刻胶THMR-IP3250，厚度0.5微米，在30分钟工艺内去除； 11.★安全保护：反应室上盖带安全互锁装置，当盖子打开时自动停止臭氧导入； 12.厂务要求（由用户自行准备）： 12.1电源：220伏，6安培，50赫兹； 12.2接地：D型接地（小于等于100欧姆）； 12.3工艺气体（氧气）：压力1MPa，1/4英寸快速接头； 12.4氮气吹扫：压力1MPa，1/4英寸快速接头； 12.5排气：1/4英寸快速接头 | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）需要制造商提供该项目的授权书和售后服务承诺书。 |
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2026-05-22
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