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西南交通大学离子束辅助表面改性及强化增效设备采购
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***********公司企业信息
****2026年6至7月政府采购意向-****离子束辅助表面改性及强化增效设备采购 详细情况
| ****离子束辅助表面改性及强化增效设备采购 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年6至7月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | ****离子束辅助表面改性及强化增效设备采购 |
| 预算金额： | 101.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****9900其他电气设备
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| 采购需求概况 ： |
采购项目名称：****离子束辅助表面改性及强化增效设备采购。采购数量：1台。拟实现主要功能目标：（1) 表面清洁度：污染物低于3个原子层； (2) 表面活化层：1-3个原子层；(3) 改性层控制精度：±1.5nm；(4) 气体种类：包括Cl2、BCl3、Ar、SF6、O2、CHF3等多种气体；(5) 真空度：真空度优于1E-3Pa；(6) 等离子体刻蚀均匀性：±3%~±5%；(7) 离子束能量分辨率：≤1.0eV；(8) 离子源功率：离子源功率不低于1kW；(9) 自动化程度：具备自动化运行系统。 服务要求：需满足安装调试、售后保障等要求。 安全要求：须符合国家相关安全标准，设备投入使用前须通过具有资质的第三方机构的安全评估；供货方须提供设备安全操作规程及应急预案，并指导采购方建立安全管理体系。时限要求：合同签订后，供货方须在约定期限内完成设备制造并发货，设备到场后30日内完**装调试。
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| 预计采购时间： | 2026-07 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-05-27
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西南交通大学离子束辅助表面改性及强化增效设备采购
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