省生态环境厅关于阿斯富乐半导体科技（苏州）有限公司半导体设备超洁净模块及系统集成项目环境影响报告书的批复

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你公司报送的《****半导体设备超洁净模块及系统集成项目环境影响报告书》（以下简称《报告书》）收悉。经研究，现批复如下：

项目位于**高新技术产业园，拟采用机械抛光、碱洗、电解抛光、钝化、组装等工艺，建设半导体超洁净模块管道、管件、阀门、减压器、扩散器、过滤器生产线，产品应用于半导体生产过程中的气体传输，保证气体的纯净度和传输效率，精确调节流量和压力。项目配套废水处理设施、废气处理设施、一般固废暂存间、危废贮存库等环保工程及公辅工程，建成后年产半导体超洁净模块及系统集成装备1.6万套。

该项目符合国家、省产业政策和**高新技术产业园产业定位。项目实施将对周边生态环境产生一定不良影响，在全面落实《报告书》和本批复提出的生态环境保护措施后，不良生态环境影响能够得到减缓和控制。我厅原则同意《报告书》的环境影响评价总体结论和拟采取的生态环境保护措施。

二、在项目设计、建设和运行管理中，你公司须落实《报告书》提出的生态环境保护措施，重点落实以下要求：

（一）全过程贯彻清洁生产原则和循环经济理念，采用先进工艺和设备，加强生产管理和环境管理，落实各项环境保护措施，减少污染物产生量和排放量，项目单位产品物耗、能耗和污染物排放等指标应达清洁生产I级水平。

（二）落实《报告书》提出的各项废气治理措施，确保各类废气的处理效率及排气筒高度达到《报告书》提出的要求，采取有效措施控制无组织废气排放。项目抛光产生的颗粒物、铬及其化合物、镍及其化合物执行《大气污染物综合排放标准》（DB 32/4041—2021）表1浓度限值，电解抛光、钝化产生的硫酸雾、氮氧化物排放浓度执行《电镀污染物排放标准》（GB 21900—2008）表5限值，厂界硫酸雾、铬及其化合物、镍及其化合物、非甲烷总烃、颗粒物、氮氧化物执行《大气污染物综合排放标准》（DB 32/4041—2021）表3浓度限值，厂区内非甲烷总烃执行《大气污染物综合排放标准》（DB 32/4041—2021）表2限值，单位产品镀件镀层基准排气量执行《电镀污染物排放标准》（GB 21900—2008）表6标准。施工期扬尘排放浓度执行《施工场地扬尘排放标准》（DB 32/4437—2022）表1标准。

（三）按“清污分流、雨污分流、一水多用、分质处理”原则设计、建设、完善厂区给排水系统，其中车间内废水均采用明管明渠收集。项目电解清洗废水、钝化清洗废水、地面冲洗废水等含重金属废水经二级物化预处理后，与碱洗清洗废水、纯水制备废水、废气喷淋废水、初期雨水等其他不含重金属废水一并进入厂区综合废水处理系统，采取“A/O生化+二沉池+混凝气浮”工艺处理后，接管至******公司集中处理。总铬、总镍在车间或生产设施废水排放口执行《电镀污染物排放标准》（GB 21900—2008）表3限值，总排口单位产品基准排水量执行《电镀污染物排放标准》（GB 21900—2008）表3限值，其余指标执行******公司接管标准。生活污水单独接管至**塘桥****公司集中处理。

（四）选用低噪声设备并采取有效的减振、隔声、消声等降噪措施，确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348—2008）3类标准。施工期噪声执行《建筑施工噪声排放标准》（GB 12523—2025）要求。

（五）按“减量化、**化、无害化”原则落实各类固体废物的收集、处置和综合利用措施。一般工业固体废物贮存应符合《关于印发的通知》（环办固体函〔2026〕18号），危险废物贮存、转移应符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB 18597—2023）及《危险废物转移管理办法》（生态环境部 **部 交通运输部 部令第23号）相关管理要求，防止产生二次污染。生活垃圾委托环卫部门统一清运。按要求在**省固体废物管理信息系统中填报危废（含污泥）产生和处置情况，提高危废规范化管理水平。依法建立工业固体废物管理台账，如实记录产生种类、数量、流向、贮存、利用、处置等信息，实现可追溯、可查询。

（六）做好土壤和地下水污染防治工作。强化土壤和地下水源头防控，落实《报告书》中提出的分区防渗要求，电解抛光生产车间、罐区、废水处理区、危废仓库、事故池、初期雨水池等应采取重点防渗措施，制定并落实土壤和地下水跟踪监测计划。

（七）强化各项环境风险防范措施，有效防范环境风险。落实《报告书》提出的环境风险防范措施、突发环境事件应急预案编制及管理要求，定期排查整治突发环境事件隐患，按要求配备环境应急设备和物资。完善事故污染物收集系统，建设足够容量的事故废水收集池及配套管网闸阀等应急设施，确保事故废水不进入外环境。

（八）规范设置各类排污口和标志。按《排污单位自行监测技术指南 电镀工业》（HJ 985—2018）以及污染源自动监控相关管理要求，建设、安装自动监控设备及其配套设施。按《报告书》提出的环境管理与监测计划实施日常环境管理与监测，监测结果及相关资料备查。

（九）落实《报告书》提出的以厂界为边界设置50米卫生防护距离的要求，该范围内目前无居民住宅、学校、医院等环境敏感目标，以后亦不得建设居民住宅、学校、医院等环境敏感目标。

****公司应对污水处理、废气治理等污染治理设施开展安全风险辨识管控，健全内部污染防治设施稳定运行和管理责任制度，严格依据标准规范建设环境治理设施，确保环境治理设施安全、稳定、有效运行。

三、本项目实施后，污染物年排放总量初步核定为：

1、水污染物（接管量/外排环境量）

生产废水：废水量≤34220/34220吨、化学需氧量≤2.7376/1.71吨、悬浮物≤3.4220/0.34吨、氨氮≤0.0342/0.0342吨、总氮≤0.1711/0.1711吨、总磷≤0.1369/0.051吨、石油类≤0.0684/0.0684吨、总镍0.0016/0.0016吨、总铬0.0025/0.0025吨、总铜0.0034/0.0034吨、总铁0.009/0.009吨。

生活污水：废水量≤3600/3600吨、化学需氧量≤1.44/0.108吨、悬浮物≤1.08/0.036吨、氨氮≤0.13/0.005吨、总氮≤0.16/0.036吨、总磷≤0.014/0.001吨。

2、大气污染物

有组织废气：颗粒物≤0.1吨、硫酸雾≤0.97吨、氮氧化物≤0.88吨、铬及其化合物≤0.017吨、镍及其化合物≤0.012吨。

无组织废气：颗粒物≤0.13吨、硫酸雾≤0.515吨、氮氧化物≤0.08吨、铬及其化合物≤0.019吨、镍及其化合物≤0.013吨、非甲烷总烃≤0.12吨。

固体废物：全部综合利用或规范处置。

四、严格落实生态环境保护主体责任，你公司应当对《报告书》的内容和结论负责。

五、你公司应当依照《排污许可管理条例》规定，依法申请排污许可证；未取得排污许可证的，不得排放污染物。项目建设必须严格执行配套的环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环境保护“三同时”制度。施工招标文件和施工合同中应明确环保条款和责任，须按规定程序实施竣工环境保护验收。

六、****生态环境局组织开展该项目的“三同时”监督检查及相关管理工作。你公司应在收到本批复后20个工作日内，将批准后的《报告书》****环境局、****环境局，并按规定接受各级生态环境部门的日常监督检查。

七、项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动的，应当重新报批项目的环境影响评价文件。自本批复文件批准之日起满5年，建设项目方开工建设的，其环境影响报告书应当报我厅重新审核。

****生态环境厅

2026年5月28日

（此件公开发布）

（项目代码：****）