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金属有机物化学气相沉积系统
招标详情
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***********公司企业信息
****2026年5至12月政府采购意向-金属有机物化学气相沉积系统 详细情况
| 金属有机物化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年5至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 金属有机物化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 1500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****9900其他电工、电子生产设备
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| 采购需求概况 ： |
拟采购一台金属有机物化学气相沉积系统（MOCVD），用于支撑半导体显****实验室开展高均匀性、高质量氮化镓激光器材料外延生长实验。氮化镓激光器的光效和寿命与外延材料中的杂质等点缺陷密切相关。对MOCVD设备而言，高温生长会导致反应室器壁和生长托盘上沉积较厚的AlN、AlGaN、GaN等覆盖物，由于Al-N和Ga-N等化学键较强，这些覆盖物及其内部杂质很难通过高温烘烤的方式有效去除，从而在每次高温外延生长GaN激光器材料时，这些残留的覆盖物持续分解，导致外延薄膜中产生大量非故意杂质与颗粒物，从而严重影响氮化镓激光器的光效、串联电阻和电压，进而影响氮化镓激光器的输出光功率与寿命。
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| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-09-24
2026-09-24
2026-05-29
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金属有机物化学气相沉积系统
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