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中国科学院微电子研究所气体团簇离子束抛光系统采购项目废标公告
招标详情
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400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
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一、项目基本情况
采购项目编号：****
采购项目名称：****气体团簇离子束抛光系统采购项目
二、项目废标/流标的原因
截至投标文件递交截止时间，递交投标文件的投标人不足三家，本项目废标。
三、其他补充事宜
其他
四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：****
地址：**市**区北土**路3号
联系方式：王老师 010-****5516
2.采购代理机构信息
名 称：****
地 址：**市**区**街1****中心20层
联系方式：迟兆洋、叶明、荀笑尘、芮虎峥 010-****0585/0589 hzrui@oitc.****.cn、xcxun@oitc.****.cn
3.项目联系方式
项目联系人：迟兆洋、叶明、荀笑尘、芮虎峥
电 话： 010-****0585/0589
附件（1）
_气体团簇离子束抛光系统【5.docx下载预览
招标进度跟踪
2026-09-22
2026-06-29
2026-06-05
2026-06-01
流标公告
中国科学院微电子研究所气体团簇离子束抛光系统采购项目废标公告
当前信息
2026-05-11
2026-02-26
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