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高真空电阻蒸发镀膜机（PKUSZ-JJ2026008号）采购公告

公告-招标公告

广东 -深圳

发布时间： 2026年06月02日

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电阻蒸发镀膜机采购公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

高真空电阻蒸发镀膜机	****
2026-06-02 10:04:38	2026-06-08 09:00:00
****

	签约后10工作日
￥




省市区智园D3栋D3408实验室
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

高真空电阻蒸发镀膜机

台

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

泰科诺

ZHD400

￥

****实验室制备金属单质膜、半导体膜、钙钛矿太阳能电池、锂电池、有机膜等，也可用作教学及生产线前期工艺试验等。设备主机与控制一体化设计，PLC+触摸屏控制，操控方便，结构紧凑，占地面积小。性能/技术指标：镀膜室：尺寸 *0mm×W440mm×H450 mm，SUS304不锈钢制作，方形前开门结构；真空系统：分子泵+机械泵+高真空阀门+数显真空计组成无油真空系统，主泵抽速≥1300L/S；真空指标：极限真空优于5.0×10-5Pa，抽速从大气抽至8. 0×10-4P a≤20min，设备升压率≤0.8Pa/h，设备停泵12小时后，真空度≤10Pa；基片台：抽屉式结构，可最大放置样品120×120mm，向下兼容，配有基片挡板，旋转速度0-20转/分钟，可调可控；基片台可电动升降，调节范围70mm；样片台带水冷；蒸发源： 4组蒸发源，配GEN6-200直流电源，最大输入调整率额定输出电压的0.01％+2mV；最大负载调整率额定输出电压的0.01％+2mV；输出电压编程精度额定电压的0.05％；输出电流编程精度实际电流的0.1％+额定电流的0.1%；蒸发源均配有挡板及防污隔板。膜厚不均匀性：120×120mm范围内≤±5％。膜厚控制系统：晶振膜厚仪SQC310，配原装水冷探头1支，在线监测控制膜厚，显示控制精度0.01埃；控制方式：PLC+触摸屏控制方式，可实现手动/自动蒸镀控制。机架与控制：机架和控制柜一体化设计，外形尺寸≤L1300×W850×H1900mm，碳钢制作，表面喷塑处理，支撑真空腔体、真空系统及电气控制系统，底下配脚轮，方便移动、定位。整机质保2年，终生服务；