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真空蒸镀（JJ20260739）采购公告

公告-招标公告

重庆 -重庆

发布时间： 2026年06月02日

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真空蒸镀采购公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

真空蒸镀	****
2026-06-02 11:12:35	2026-06-05 13:00:00
****	货到验收合格付款

	合同签订14个工作日内
￥




****
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

镀膜机

台

其他电子和通信测量仪器

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

立宁真空

LN-FS1043-4

￥

真空蒸镀设备，有机源三个，金属源三个，带多套定制掩模版，兼容实验室手套箱，可前后开舱门，具体技术指标要求： 1 、真空腔体：形状为方向腔体。采用304 不锈钢制成，厚度≥ 18mm 。长宽高尺寸为≥480mm×455mm×560mm。全体采用喷砂 + 电解抛光复合处理。漏率≤1×10-9 Pa﹒m3/s（提供相关证明材料：实物照片、结构图） *2 、真空系统：极限真空度为≤6×10-5Pa。系统由分子泵（抽气速率≥1200L/S）、机械泵（抽气速率≥30m3/h）、高真空气动挡板阀、电动充气阀、复合数字真空计（测量范围大气——≥1×10-5Pa）等组成。在氮气保护下开门装卸基片和更换镀料后，重新抽真空可在15分钟内达到≤5×10-4Pa。 *3 、掩膜板自动更换系统：有机金属掩膜板一键更换。可在真空环境下通过触摸屏操作完成金属-有机掩膜板的切换；每个基片支持单独更换掩膜板两次；全程电动化操作，有效避免因误操作对实验结果造成干扰。（提供相关证明材料：实物照片、结构图） *4 、基片装置：基片与掩膜板贴合缝隙为零。旋转基片架可容纳不少于4片基片；每个基片位有1个独立的基片库，每个基片库可放在3个金属或有机掩膜板。基片最大尺寸可达32×32mm（长×宽），支持基片位置自动识别；每片基片均配备独立挡板，可单独控制开关；蒸镀均匀度优于±3%。基片架预留足够空间，可安装一块尺寸≥100×100 mm的大基片。（提供相关证明材料：实物照片、结构图） *5 、三挡板系统：基片总挡板-蒸发源挡板-基片小挡板。该系统配备三个挡板，其中每个基片均设有独立挡板与基片总挡板，且每个蒸发源也配有独立挡板。能够实现每个基片蒸镀厚度的独立控制，有效保障蒸镀过程的稳定性，并减少各组件间的互相污染。（提供相关证明材料：实物照片、结构图） *6 、有机蒸发源：束源炉式有机蒸发源最高温度可达800℃。每个蒸发源都配有独立挡板和独立的防污罩，触摸屏上可操作蒸发源的温度和挡板开关。数量不少于3个 7 、有机蒸发电源：控温精度达±1℃。运用 PID 控温表进行温度调控，控温精度达±1℃。控制电源不少于1套。 *8 、金属蒸发源：不无氧铜电级大水流冷却电极式金属蒸发源电极采用无氧铜做材料，采用大水流的水冷设计，保证金属蒸发源的稳定和散热，蒸发舟尺寸范围为80至90毫米。数量不少于3套。 9 、金属蒸发源电源：恒流控制稳定输出，采用百分比功率控制恒流模式，最大功率高达 1.6Kw。数量不少于1台。

电话支持:5x8小时;质保期限:3年;响应时间:48小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;提供免费维护与软件升级;

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2026-06-02

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