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高精度等离子体增强镀膜设备

上海 -上海

发布时间： 2026年06月02日

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等离子镀膜

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****2026年6至12月政府采购意向-高精度等离子体增强镀膜设备详细情况

高精度等离子体增强镀膜设备
项目所在采购意向：	****2026年6至12月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	高精度等离子体增强镀膜设备
预算金额：	490.000000万元(人民币)
采购品目：	A****2402真空应用设备
采购需求概况：	高精度等离子体增强镀膜设备用于红外双色光学滤光片研发平台建设。具有高精度、高均匀性、多功能性以及自动化和智能化的特点，为应用于航天领域高性能双色光学薄膜元件的研制提供坚实基础。其具体配置如下：光学监控方式：单波长加宽光谱光控，具备任意非极值点判停功能；监控波长范围：0.4-2.4μm；光学监控精度：优于1%；波长定位精度：优于±0.5nm；波长重复性：优于±0.25nm；真空室尺寸：不小于1100mm；真空系统：前级干泵+分子泵；辅助沉积系统：RF离子源。
预计采购时间：	2026-07
备注：	项目说明：通过购置同时具备单波长监控和宽光谱监控的设备，可以有效提升膜厚监控的精度和广度，解决超宽间隔双色滤光片的厚膜控制和光谱调控难题。此外，该设备还能够进行等离子体辅助镀膜，能够效调控膜层的应力以及增强膜层与基底的结合力，提升滤光片的机械强度，满足双色滤光片在航天载荷应用环境下的可靠性和使用寿命要求。