北京科技大学多功能脉冲激光沉积系统

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（一）采购标的名称 多功能脉冲激光沉积系统 （二）采购标的需实现的主要功能或者目标 脉冲激光沉积技术利用高能脉冲激光聚焦轰击靶材，瞬间产生高温等离子体羽辉，沉积到衬底形成薄膜。具备靶材与薄膜成分一致（适于复杂化合物、超晶格等材料）、可在宽气压范围内生长、兼容多种气体等优势。本系统利用脉冲激光沉积技术制备高质量外延薄膜、超晶格及异质结构功能薄膜材料。整体系统包含1套共享光路、1套超高真空激光分子束外延系统与2套脉冲激光沉积系统。具体功能目标如下： 三腔体共享激光光路：通过可切换光路系统（含高反射镜、长焦透镜、激光防护架及亚克力保护罩）支持多腔体灵活切换。 超高真空激光分子束外延系统（1套）：用于原子级高质量的氮化物薄膜生长。需配备氮离子源和高压TorrRHEED原位监控系统（实时监测表面再构与生长模式）。兼容真空互联样品托。脉冲激光沉积系统（2套）：用于高质量氧化物薄膜制备。 共同要求：三套系统极限真空度可达10-9 mbar。均预留标准臭氧源输入口，满足强氧化工艺需求。采用红外激光加热配合红外测温仪实现非接触精确控温，实现室温至1100℃的稳定控制。靶基距可达100 mm。衬底加热光斑直径不小于15 mm。 （三）采购标的数量 1套综合脉冲激光镀膜系统（包含1台超高真空激光分子束外延系统与2台脉冲激光沉积系统）。 （四）采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求 质量：整机需提供出厂测试报告及验收指标。 服务：供应商提供现场安装、调试及不少于12个月的整机保修；提供操作培训及工艺配方开发指导；故障报修后48小时内响应。 安全：系统具备真空互锁、过热保护、激光防护。 时限：合同签订后6~8个月内完成交付、安装与验收。