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思锐半导体晶圆镀膜工艺清洗设备和测试检测设备购买项目

审批

山东-青岛-黄岛区

发布时间： 2026年06月05日

项目详情

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拟批准环境影响评价文件的建设项目公示

项目名称：		思锐半导体晶圆镀膜工艺清洗设备和测试检测设备购买项目
建设地点：		万**路88号
建设单位：		****
环境影响评价机构：		******公司
公示时间：		2026年06月05日至 2026年06月12日
项目概况：		项目位于西海办事处中德生态园山万路88号，租赁****公司现有厂房，建筑面积1100m2。项目主要建设内容为：现有ALD镀膜测试流程增加清洗工艺，IMP通气测试流程增加化学检测工艺；新增生产设备与设施包括清洗机、全自动气象分解仪、电感耦合等离子体质谱仪、超净操作台、纯水机、电子天平、超声波清洗机各1台/套等；新增原辅材料及用量：50%氢氟酸0.1t/a、28%氨水0.22t/a、37%盐酸0.3t/a、30%双氧水0.74t/a、49%氢氟酸0.25t/a、35%双氧水0.25t/a、70%硝酸0.02t/a、20%盐酸0.0022t/a、氨氦混合气8L/a、高纯氩气8000L/a、高纯氢气8L/a、高纯氧气8L/a、高纯氦气8L/a等。项目建成后，全厂生产规模不变。项目总投资2200万元，其中环保投资50万元。
主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施：		（一）严格落实水污染防治措施。项目清洗废水、化学检测清洗废水经厂区污水处理设施（处理工艺“调节+混凝沉淀+过滤”，处理规模5m3/d）处理后与纯水制备浓水一起经市政污水管网，**处理厂处理。废水排放执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4三级标准，同时处理厂进水水质要求。按照“源头控制、分区防控、污染监控、应急响应”原则，运行过程加强管理，做好分区防渗，防止污染地下水和土壤。对工程设计、施工相关档案资料存档。（二）严格落实大气污染防治措施。项目各生产工序均位于封闭车间内，清洗废气和化学检测废气经集气罩/集气管道收集后通过中央酸性废气处理系统（1用1备）处理，由3根27m高排气筒P1-1-P1-3（2用1备）排放。危废间1废气经集气系统收集后通过1套酸性废气吸附装置（SDG-2）吸附装置处理，尾气通过15m排气筒Y1排放，危废间2废气经集气系统收集后通过1套活性炭装置处理，尾气通过15m排气筒Y2排放。以上废气处理设施及排气筒均依托现有。排气筒DA001、DA002排气筒中HCl、氟化物排放浓度、排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中的二级标准限值（排放速率严格50%执行）；NH3排放速率执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2中的标准。NOx有组织排放浓度执行《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019）重点控制区大气污染物排放浓度限值，有组织排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2限值。排气筒DA013中 HCl、氟化物有组织排放浓度、排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中的二级标准限值（排放速率严格50%执行）；NOx有组织排放浓度执行《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019）重点控制区大气污染物排放浓度限值，排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2限值。排气筒DA014氨排放速率执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2中标准限值。厂界HCl、氟化物、NOx无组织监控浓度执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2限值；氨厂界浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）中表1二级标准要求。严格按照有关要求，规范废气收集处理设施，减少无组织排放，确保厂区内及厂界无组织排放满足限值要求。项目须严格按照环评报告要求和实际情况定期更换活性炭等耗材，留存详细的购买、更换、处置台账，台账至少保存3年。（三）严格落实噪声污染防治措施。生产设备须合理布局，采取减振、隔声等有效的噪声污染防治措施，厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类标准。（四）严格落实固体废物污染防治措施。化学试剂废包装材料、废实验耗材、HF清洗废液、实验废液、废活性炭、废吸附剂、废晶圆等危险废物，分类暂存于现有2处危废暂存间（共15.5m2），及时委托有危废处置资质单位处置；废反渗透膜、污泥等工业固体废物，暂存于现有37.2m2工业固废暂存间内，外售综合利用。各类固体废物应根据特性分区、分类贮存和管理。工业固体废物贮存过程应满足相应防扬散、防流失、防渗漏等环境保护要求；危险废物暂存管理须满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求。按规范建立工业固体废物和危险废物固体废物污染环境防治责任制度、管理台账，确保可溯源并存档备查。（五）严格落实环境风险防范措施。按照《突发环境事件应急管理办法》的相关要求，编制突发环境事件应急预案并向我局备案。严格依据标准规范建设环境污染防治设施，健全内部管理责任制度，依法依规对污染防治设施和项目开展安全评价、评估和事故隐患排查治理，并按规定报安全生产行业主管部门。配备充足的环境应急物资，加强巡查巡检和应急培训演练，有效防范、科学处置突发环境事件。（六）严格落实《报告表》提出的环境管理与监测制度。建立健全环境管理制度，明确专人专责，加强环境日常管理，确保设施正常运行，实现污染物稳定达标排放。按照《排污口规范化整治技术要求（试行）》《省污水排放口环境信息公开技术规范》等规定设置规范的污染物排放口和标志牌，废气排气筒设置永久采样孔、监测采样平台。（七）建立畅通的公众参与途径，主动接受社会监督，并及时回应和解决公众关切的环境问题，切实维护公众合法的环境权益。（八）严格落实《报告表》提出的“以新带老”问题整改要求，按时限完成整改，并纳入竣工环境保护验收。
****政府及有关部门作出的相关环境保护措施承诺文件：
审批单位	名称：	**环境局**分局
	联系电话：	0532-****6723
	传真电话：
	通讯地址：	**市西海岸新区七墩山路77号三楼
	邮政编码：	266400

听证权利告知：依据《中华人民**国行政许可法》，自公示起五日内申请人、利害关系人可对拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。

温馨提示

1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。

2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。

3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。

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