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电子束曝光机采购意向公告
一、项目名称:电子束曝光机
二、预算金额(万元):1630万元
三、采购品目:电气物理设备
四、采购方式:公开招标
五、采购需求概况:
设备用于微纳器件的高精度图形制备与工艺过程控制,可实现纳米级分辨率光刻加工;具备高端的图形制备功能及加工过程可视化指引,支持复杂结构与大面积图形的制备需求,满足微纳制造相关学科未来发展需要。
六、联系方式:
许老师 0755-****6690
邮箱 ****@siitsz.com
七、预计采购时间:2026年6月
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2026年6月4日
本项目的采购意向及后续采购公告具体****集团官网--模块发布。也可扫描下方二维码,直接跳转至对应公告页面查看。