采购公告电子束曝光机采购意向

发布时间: 2026年06月06日
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电子束曝光机采购意向公告


一、项目名称:电子束曝光机


二、预算金额(万元):1630万元


三、采购品目:电气物理设备


四、采购方式:公开招标


五、采购需求概况:

设备用于微纳器件的高精度图形制备与工艺过程控制,可实现纳米级分辨率光刻加工;具备高端的图形制备功能及加工过程可视化指引,支持复杂结构与大面积图形的制备需求,满足微纳制造相关学科未来发展需要。


六、联系方式:

许老师 0755-****6690

邮箱 ****@siitsz.com


七、预计采购时间:2026年6月


****

2026年6月4日






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