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十号厅等离子体源气室及支撑件-需求公告
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十号厅等离子体源气室及支撑件-需求公告
发布日期：2026-06-08
采购编号：
****
报价截止日期：
2026-06-14 12:00
供应商资质要求：
近三年信用良好 ，是高能所的合格供应商 ，近三年有正常的销售记录和提供完整的售后服务。
| 1 | 20cm级气室和支撑组件 | 铝合金框架六面盖板结构，表面电解抛光，有效尺寸大于等于200mm*20mm*20mm，支持两个旋转自由度的调节，1e-5Pa真空兼容 | 套 | 1 | 5周 | **市**区**路19号乙院，****研究所十号厅 | ||
| 2 | 40cm级气室和支撑组件 | 铝合金框架六面盖板结构，表面电解抛光，有效尺寸大于等于400mm*20mm*20mm，支持两个旋转自由度的调节，1e-5Pa真空兼容 | 套 | 1 | 5周 | **市**区**路19号乙院，****研究所十号厅 | ||
| 3 | 80cm级气室和支撑组件 | 铝合金框架六面盖板结构，表面电解抛光，有效尺寸大于等于800mm*30mm*30mm，支持两个旋转自由度的调节，1e-5Pa真空兼容 | 套 | 1 | 5周 | **市**区**路19号乙院，****研究所十号厅 |
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