中核高通半导体晶圆电学参数测试系统采购项目（寻源采购）-研发项目采购公告

**** -中核高通半导体晶圆电学参数测试系统采购项目（寻源采购）-研发项目-询比采购采购公告

一、项目概况

对于本半导体晶圆电学参数测试系统，供应商还应按照技术规格书的要求提供以下服务：

1、根据本技术规格书的功能、性能及技术要求完成装置的设计，并由用户确认设计方案；

2、按确认的设计规范进行加工制造，并在制造完成之后向用户提起出厂验收请求，出厂验收测试方案由供应商提供并经用户审核批准后执行；

3、装置通过出厂验收测试后，由供应商负责将装置运输至用户要求的安装现场，并完成装置的安装及调试，同步完成装置的安装确认、运行确认和现场验收测试，安装确认、运行确认和现场验收测试方案也应在执行前提交用户进行审核批准后实施。

技术要求：

仪器可容纳最大测试直径为200 mm。仪器具备粗调和精调高度控制以及可调节的进针速度；方块电阻测量范围能覆盖10个电阻量级。可以使用矩形、线性、极坐标和自定义配置等采样点排列方式进行测绘。最大样品厚度：60 mm。X-Y载台范围：200 mm × 200mm，最大样品宽度：365 mm。X-Y-Z载台类型：自动型。样品台最大承重：2.5 kg。电学性能重复性：＜0.01%（使用R-pack进行测量，2.8Ω-28kΩ）。电学性能精确性：+/－0.1%（使用R-pack进行测量，2.8Ω-28kΩ）。测试探针为4探针，间距1 mm，40 um探针半径。仪器应配有水平传感器，可自动保持水**。仪器能输出每个测试点的坐标、电阻、薄膜厚度或电阻率分布图。通过输入材料的电阻率值（或电阻依赖关系），可以计算并显示厚度；输入厚度值，可计算电阻率，可输电阻分布mapping图。乙方应每年提供1次产品常规检测保养（质保期内）

二、供应商资格要求:

1、基本资格条件：

（1）中华人民**国境内合法成立的法人，具有独立法人资格、独立承担民事责任的能力，提供《营业执照》。

（2）提供1份2023年1月1日至应答文件递交截止日期的类似项目业绩。标书代写

（3）不接受联合体投标；****公司****公司投标。

三、报名方式

本项目采取公开方式选择供应商，有意参与本项目的潜在****集团电子采购平台（https://www.****.com/）在2026年06月18日 09时00分00秒前报名参加本项目。

四、采购文件的获取

1、采购文件获取地地址：本项目不再提供纸质采购文件，参与本项目的潜在供应商****集团电子采购平台下载采购文件。

2、有意参与本项目的潜在****集团电子采购平台进行注册。注册账号审核通过后，在首页“用户登录”，输入账号及密码登录系统，依次点击→系统功能菜单→项目管理→我要报名，找到《中核高通半导体晶圆电学参数测试系统采购项目（寻源采购）-研发项目》，点击“我要报名”，即可查看项目信息并报名参与项目。****公司审核通过后即可下载本项目采购文件。

五、应答文件/报价文件的递交

1、应答文件递交截止时间：请参与本项目的应答人在（**时间）标书代写2026年06月18日 09时00分00秒****集团电子采购平台（https://www.****.com/）登录并上传应答文件电子版。若采购方另有要求递交纸质应答文件的，请按采购方要求的时间及方式递交：。

2、提交应答文件的方式：在线上传应答文件。（若采购方另有要求递交纸质应答文件的，请按采购方要求递交，并以在线上传文件为准）

3、未在线报名、逾期上传/送达的、未上传的，采购人不予受理。

六、公告媒体

****集团电子采购平台（https://www.****.com/）发布。对于其他媒介发布的本项目公告，采购人对其准确性不承担任何责任。本次采购活动的最终解释权在****

七、联系方式

采购人：****

地址：

邮编：

联系人：李工

电话：139****4319

传真：

电子邮件：

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2026年06月08日